[發明專利]一種彩色濾光片的制備基板及彩色濾光片基板的制造方法有效

申請號：	201810532454.1	申請日：	2018-05-29
公開（公告）號：	CN108776406B	公開（公告）日：	2021-06-01
發明（設計）人：	劉學敏	申請（專利權）人：	武漢華星光電技術有限公司
主分類號：	G02F1/1335	分類號：	G02F1/1335
代理公司：	深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280	代理人：	鐘子敏
地址：	430070 湖北省武漢市***	國省代碼：	湖北;42
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種彩色濾光制備片基板制造方法
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【說明書】：

本發明公開了一種彩色濾光片的制備基板及彩色濾光片基板的制造方法，包括：有效區域，用于在其內形成矩陣排列的第一顏色色阻塊、第二顏色色阻塊和第三顏色色阻塊；非有效區域，設置在所述有效區域的周圍；對位精度檢測圖案，設置在所述非有效區域內，且包括第一對位精度檢測圖案、第二對位精度檢測圖案和第三對位精度檢測圖案，所述制備基板能夠利用同一所述光罩圖案而在所述制備基板上形成所述第一顏色色阻塊、所述第二顏色色阻塊和所述第三顏色色阻塊。通過上述方式，本發明能夠確定不同顏色層間圖形的相對位置精度，提高產品質量。

技術領域

本發明涉及彩色濾光片技術領域，特別是涉及一種彩色濾光片的制備基板及彩色濾光片基板的制造方法。

背景技術

彩色濾光片是液晶顯示裝置的重要組成部分，而隨著人們對顯示裝置的清晰度要求越來越高，相應的，彩色濾光片的RGB像素線寬越來越窄。為保證不同顏色層間圖形的相對位置精度，通常采用彩色濾光片的制備基板上的對應精度檢測圖案與每個顏色層對應的光罩上設置額光罩對位圖案的匹配來檢測相應顏色的顏色層的相對位置精度。

現有技術中，為降低生產成本和縮短工藝流程，通過移動一個共用光罩的方式在該制備基板上形成不同顏色的顏色層，此時，該光罩上的光罩對位圖案在該制備基板上的對應精度檢測圖案中的投影無法對每個顏色的顏色層的相對位置精確度進行指示。因此，在使用一個光罩圖案對不同的顏色層進行曝光時，無法確定不同顏色層間圖形的相對位置精度，產品質量不可靠。

本申請的發明人在長期的研發過程中，發現現有的彩色濾光片的制備基板無法確定不同顏色層間圖形的相對位置精度，產品質量不可靠。

發明內容

本發明主要解決的技術問題是提供一種彩色濾光片的制備基板及彩色濾光片基板的制造方法，能夠確定不同顏色層間圖形的相對位置精度，提高產品質量。

為解決上述技術問題，本發明采用的一個技術方案是：提供一種彩色濾光片的制備基板。

其中，該制備基板包括：

有效區域，用于在其內形成矩陣排列的第一顏色色阻塊、第二顏色色阻塊和第三顏色色阻塊；

非有效區域，設置在該有效區域的周圍；

對位精度檢測圖案，設置在該非有效區域內，且包括第一對位精度檢測圖案、第二對位精度檢測圖案和第三對位精度檢測圖案；

其中，當利用一共用光罩圖案在該制備基板上形成矩陣排列的該第一顏色色阻塊時，根據該光罩圖案投影在該第一對位精度檢測圖案中的位置而調整修正該光罩圖案的位置；

當利用該共用光罩圖案在該制備基板上形成矩陣排列的該第二顏色色阻塊時，根據該光罩圖案投影在該第二對位精度檢測圖案中的位置而調整修正該光罩圖案的位置；

當利用該共用光罩圖案在該制備基板上形成矩陣排列的該第三顏色色阻塊時，根據該光罩圖案投影在該第三對位精度檢測圖案中的位置而調整修正該光罩圖案的位置，從而利用同一該光罩圖案而在該制備基板上形成該第一顏色色阻塊、該第二顏色色阻塊和該第三顏色色阻塊。

為解決上述技術問題，本發明采用的另一個技術方案是：提供一種彩色濾光片基板的制造方法。