[發明專利]芯片封裝機在審
| 申請號: | 201810511313.1 | 申請日: | 2018-05-25 |
| 公開(公告)號: | CN108598024A | 公開(公告)日: | 2018-09-28 |
| 發明(設計)人: | 王加駭 | 申請(專利權)人: | 王加駭 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 315301 浙江省寧波*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 芯片定位裝置 自動包裝裝置 進料裝置 上料 芯片 芯片封裝 熱封膜 料杯 搬運機械手 包裝芯片 元器 半導體 半導體技術領域 銜接 機架組件 加工效率 熱封 封裝 搬運 | ||
本發明涉及半導體技術領域。芯片封裝機,包括機架組件及其上的芯片進料裝置、芯片定位裝置、搬運機械手裝置和自動包裝裝置;芯片進料裝置用于實現待包裝芯片的上料功能;芯片定位裝置與芯片進料裝置相銜接,芯片定位裝置用于定位待包裝芯片;搬運機械手裝置用于芯片進料裝置、芯片定位裝置和自動包裝裝置之間芯片工件的搬運;自動包裝裝置與芯片定位裝置相銜接,自動包裝裝置用于料杯的上料、熱封膜的上料以及熱封膜與料杯的熱封。該芯片封裝機的優點是可以全自動完成半導體元器、料杯和熱封膜的上料,并完成半導體元器的封裝,加工效率高。
技術領域
本發明涉及芯片技術領域,尤其是芯片的生產設備。
背景技術
芯片生產和檢測完成之后,就要將芯片通過放入絕緣料杯中然后用熱封膜封住。現有的封裝方式如下:通過機械手移動,將芯片逐個放入位置固定的絕緣料杯的盛料腔中,料杯是規則排列的多個,一排絕緣料杯的盛料腔放滿芯片后,將絕緣料杯移動至熱壓膜設備下方,熱壓膜將盛料腔封閉,完成芯片的封裝。現有芯片封裝設備存在的不足是加工效率低。
發明內容
本發明的目的是提供一種加工效率高的全自動芯片封裝機。
為了實現上述目的,本發明所采取的技術方案是:芯片封裝機,包括機架組件及其上的芯片進料裝置、芯片定位裝置、搬運機械手裝置和自動包裝裝置;芯片進料裝置用于實現待包裝芯片的上料功能;芯片定位裝置與芯片進料裝置相銜接,芯片定位裝置用于定位待包裝芯片;搬運機械手裝置用于芯片進料裝置、芯片定位裝置和自動包裝裝置之間芯片工件的搬運;自動包裝裝置與芯片定位裝置相銜接,自動包裝裝置用于料杯的上料、熱封膜的上料以及熱封膜與料杯的熱封;
自動包裝裝置包括包裝機架、料杯上料收料機構、熱封膜送料機構、芯片上料口組件、壓邊組件、料杯導桿、料杯走料機構和壓膜導軌;包裝機架固定設置在機架組件上,料杯上料收料機構設置在包裝機架上;熱封膜送料機構設置在包裝機架上,熱封膜送料機構位于壓膜導軌上方;芯片上料口組件和壓邊組件位置對應壓膜導軌內的料杯;料杯導桿固定設置在包裝機架上,料杯導桿位于壓膜導軌下方,料杯導桿位置對應料杯,料杯導桿用于保持料杯水平;料杯走料機構安裝在壓膜導軌下方,料杯走料機構用于將料杯實現步進式進給運動;沿料杯的進給方向上料口組件、熱封膜送料機構、壓邊組件依次排列。
作為優選,壓膜導軌包括第一壓軌和第二壓軌,第一壓軌和第二壓軌安裝在包裝機架上,第一壓軌和第二壓軌之間留有供料杯穿過的料杯通道;第一壓軌包括第一上壓軌和第一下壓軌,第二壓軌包括第二上壓軌和第二下壓軌,第二上壓軌和第二下壓軌的內端均設有向內凸出的壓邊,料杯處于壓邊下方,從熱封膜送料機構上輸出的熱封膜g壓緊在兩塊壓邊之間的料杯上。
作為優選,料杯上料收料機構包括第五電機、上料盤、上料盤支柱、收料盤支柱、第一轉動座、第二轉動座、第一滾輪、第二滾輪、第三滾輪、橡膠帶和收料盤;上料盤安裝在上料盤支柱的轉軸上,上料盤支柱固定設置在包裝機架的一端上;收料盤支柱固定設置在包裝機架的另一端上,第一轉動座和第二轉動座分別設置在收料盤支柱兩側;第五電機輸出軸連接第一滾輪,第五電機設置在包裝機架上,第二滾輪安裝在第一轉動座上,第三滾輪安裝在第二轉動座上;第一滾輪、第二滾輪和第三滾輪之間通過橡膠帶實現同步傳動;收料盤設置在第二轉動座的中心軸上;熱封膜送料機構、芯片上料口組件、壓邊組件、料杯導桿、料杯走料機構和壓膜導軌處于上料盤和收料盤之間。
作為優選,熱封膜送料機構包括固定支座、熱封膜料盤、固定座、壓緊調節螺釘、導向滾輪、擺動滾輪和調節塊;固定支座和固定座設置在包裝機架上,熱封膜料盤安裝在固定支座上端;調節塊與固定座通過導向滾輪的轉軸形成轉動副連接,擺動滾輪安裝在調節塊上;壓緊調節螺釘通過螺旋副安裝在固定座上,壓緊調節螺釘下端與調節塊接觸;導向滾輪和擺動滾輪位于壓膜導軌上方。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





