[發明專利]芯片封裝機在審
| 申請號: | 201810511313.1 | 申請日: | 2018-05-25 |
| 公開(公告)號: | CN108598024A | 公開(公告)日: | 2018-09-28 |
| 發明(設計)人: | 王加駭 | 申請(專利權)人: | 王加駭 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 315301 浙江省寧波*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 芯片定位裝置 自動包裝裝置 進料裝置 上料 芯片 芯片封裝 熱封膜 料杯 搬運機械手 包裝芯片 元器 半導體 半導體技術領域 銜接 機架組件 加工效率 熱封 封裝 搬運 | ||
1.芯片封裝機,其特征在于包括機架組件(1)及其上的芯片進料裝置(2)、芯片定位裝置(3)、搬運機械手裝置(4)和自動包裝裝置(5);芯片進料裝置(2)用于實現待包裝芯片的上料功能;芯片定位裝置(3)與芯片進料裝置(2)相銜接,芯片定位裝置(3)用于定位待包裝芯片;搬運機械手裝置(4)用于芯片進料裝置(2)、芯片定位裝置(3)和自動包裝裝置(5)之間芯片工件的搬運;自動包裝裝置(5)與芯片定位裝置(3)相銜接,自動包裝裝置(5)用于料杯的上料、熱封膜的上料以及熱封膜與料杯的熱封;
自動包裝裝置(5)包括包裝機架(51)、料杯上料收料機構(52)、熱封膜送料機構(53)、芯片上料口組件(54)、壓邊組件(55)、料杯導桿(56)、料杯走料機構(57)和壓膜導軌(58);包裝機架(51)固定設置在機架組件(1)上,料杯上料收料機構(52)設置在包裝機架(51)上;熱封膜送料機構(53)設置在包裝機架(51)上,熱封膜送料機構(53)位于壓膜導軌(58)上方;芯片上料口組件(54)和壓邊組件(55)位置對應壓膜導軌(58)內的料杯;料杯導桿(56)固定設置在包裝機架(51)上,料杯導桿(56)位于壓膜導軌(58)下方,料杯導桿(56)位置對應料杯,料杯導桿(56)用于保持料杯水平;料杯走料機構(57)安裝在壓膜導軌(58)下方,料杯走料機構(57)用于將料杯實現步進式進給運動;沿料杯的進給方向上料口組件(54)、熱封膜送料機構(53)、壓邊組件(55)依次排列。
2.根據權利要求1所述的芯片封裝機,其特征在于壓膜導軌(58)包括第一壓軌(581)和第二壓軌(582),第一壓軌(581)和第二壓軌(582)安裝在包裝機架(51)上,第一壓軌(581)和第二壓軌(582)之間留有供料杯穿過的料杯通道;第一壓軌(581)包括第一上壓軌和第一下壓軌,第二壓軌(582)包括第二上壓軌和第二下壓軌,第二上壓軌和第二下壓軌的內端均設有向內凸出的壓邊(583),料杯處于壓邊(583)下方,從熱封膜送料機構(53)上輸出的熱封膜g壓緊在兩塊壓邊之間的料杯上。
3.根據權利要求2所述的芯片封裝機,其特征在于料杯上料收料機構(52)包括第五電機(520)、上料盤(521)、上料盤支柱(522)、收料盤支柱(523)、第一轉動座(524)、第二轉動座(525)、第一滾輪(526)、第二滾輪(527)、第三滾輪(528)、橡膠帶(529)和收料盤(5210);上料盤(521)安裝在上料盤支柱(522)的轉軸(5211)上,上料盤支柱(522)固定設置在包裝機架(51)的一端上;收料盤支柱(523)固定設置在包裝機架(51)的另一端上,第一轉動座(524)和第二轉動座(525)分別設置在收料盤支柱(523)兩側;第五電機(520)輸出軸連接第一滾輪(526),第五電機(520)設置在包裝機架(51)上,第二滾輪(527)安裝在第一轉動座(524)上,第三滾輪(528)安裝在第二轉動座(525)上;第一滾輪(526)、第二滾輪(527)和第三滾輪(528)之間通過橡膠帶(529)實現同步傳動;收料盤(5210)設置在第二轉動座(525)的中心軸上;熱封膜送料機構(53)、芯片上料口組件(54)、壓邊組件(55)、料杯導桿(56)、料杯走料機構(57)和壓膜導軌(58)處于上料盤(521)和收料盤(5210)之間。
4.根據權利要求2所述的芯片封裝機,其特征在于熱封膜送料機構(53)包括固定支座(531)、熱封膜料盤(532)、固定座(533)、壓緊調節螺釘(534)、導向滾輪(535)、擺動滾輪(536)和調節塊(537);固定支座(531)和固定座(533)設置在包裝機架(51)上,熱封膜料盤(532)安裝在固定支座(531)上端;調節塊(537)與固定座(533)通過導向滾輪(535)的轉軸形成轉動副連接,擺動滾輪(536)安裝在調節塊(537)上;壓緊調節螺釘(534)通過螺旋副安裝在固定座(533)上,壓緊調節螺釘(534)下端與調節塊(537)接觸;導向滾輪(535)和擺動滾輪(536)位于壓膜導軌(58)上方。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





