[發明專利]用于切割顯示面板的切割裝置和切割方法、顯示面板有效
| 申請號: | 201810509413.0 | 申請日: | 2018-05-24 |
| 公開(公告)號: | CN108807227B | 公開(公告)日: | 2021-06-04 |
| 發明(設計)人: | 萬凱;鐘小華 | 申請(專利權)人: | 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L51/00;B23K26/38 |
| 代理公司: | 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304 | 代理人: | 孫偉峰 |
| 地址: | 430070 湖北省武漢市東湖新技術*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 切割 顯示 面板 裝置 方法 | ||
1.一種用于切割顯示面板的切割裝置,其特征在于,包括:
激光切割單元(100),用于沿著預定路線對顯示面板(300)進行切割,以形成具有多個導電端子(11)的子顯示面板(10);
噴涂單元(200),用于同步跟隨所述激光切割單元(100)移動并沿著所述預定路線噴涂絕緣液,以在所述子顯示面板(10)的切割邊緣形成由所述絕緣液固化成的絕緣膜(20),所述絕緣膜(20)避開所述導電端子(11);且所述噴涂單元(20)的移動軌跡與所述激光切割單元(100)的移動軌跡一致,且兩者的移動速度一致,所述噴涂單元(200)噴涂的絕緣液在激光切割后的余熱作用下固化形成所述絕緣膜(20),所述絕緣膜(20)覆蓋激光高溫產生的碳化顆粒。
2.根據權利要求1所述的用于切割顯示面板的切割裝置,其特征在于,所述激光切割單元(100)用于沿著預定路線對所述顯示面板(300)進行切割,以在所述顯示面板(300)形成切割槽(301),所述切割槽(301)將所述顯示面板(300)分割形成多個所述子顯示面板(10)。
3.根據權利要求2所述的用于切割顯示面板的切割裝置,其特征在于,所述噴涂單元(200)用于將絕緣液噴涂至所述切割槽(301)內,且所述切割槽(301)內的部分絕緣液溢出至所述切割邊緣,以在所述切割邊緣上形成絕緣膜。
4.根據權利要求2所述的用于切割顯示面板的切割裝置,其特征在于,所述噴涂單元(200)用于將絕緣液直接噴涂至所述切割邊緣上,以在所述切割邊緣上形成所述絕緣膜(20)。
5.一種切割顯示面板的方法,其特征在于,包括以下步驟:
S1:利用激光切割單元(100)沿著預定路線對顯示面板(300)進行切割,以形成具有多個導電端子(11)的子顯示面板(10);
S2:控制噴涂單元(200)同步跟隨所述激光切割單元(100)移動并沿著所述預定路線噴涂絕緣液,以在所述子顯示面板(10)的切割邊緣形成由所述絕緣液固化成的絕緣膜(20),所述絕緣膜(20)避開所述導電端子(11);所述噴涂單元(20)的移動軌跡與所述激光切割單元(100)的移動軌跡一致,且兩者的移動速度一致,所述噴涂單元(200)噴涂的絕緣液在激光切割后的余熱作用下固化形成所述絕緣膜(20),所述絕緣膜(20)覆蓋激光高溫產生的碳化顆粒。
6.根據權利要求5所述的切割顯示面板的方法,其特征在于,所述步驟S1具體包括:利用激光切割單元(100)沿著預定路線對所述顯示面板(300)進行切割,以在所述顯示面板(300)形成切割槽(301),所述切割槽(301)將所述顯示面板(300)分割形成多個所述子顯示面板(10)。
7.根據權利要求6所述的切割顯示面板的方法,其特征在于,所述步驟S2具體包括:利用所述噴涂單元(200)將絕緣液噴涂至所述切割槽(301)內,所述切割槽(301)內的部分絕緣液溢出至所述切割邊緣上,以在所述切割邊緣上形成由絕緣液固化成的所述絕緣膜(20)。
8.根據權利要求6所述的切割顯示面板的方法,其特征在于,步驟S2具體包括:利用所述噴涂單元(200)將絕緣液噴涂至切割邊緣上,以在所述切割邊緣上形成由絕緣液固化成的所述絕緣膜(20)。
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H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
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H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





