[發明專利]一種硅晶圓刻蝕裝置

有效

• 申請號: 201810493977.X
• 申請日: 2018-05-22
• 公開（公告）號: CN108682640B
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 徐亞琴;李保振
• 申請（專利權）人: 蘇州因知成新能源有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 北京華仁聯合知識產權代理有限公司 11588
• 代理人: 國紅

1.一種硅晶圓刻蝕裝置，包括電機(1)、轉盤(2)、殼體(3)和激勵線圈(4)，其特征在于：還包括晶圓固定模塊(5)和氣體注入模塊(6)，所述的電機(1)安裝在殼體(3)的正上方；所述的轉盤(2)安裝在電機(1)的電機軸上；所述的激勵線圈(4)環繞在殼體(3)的外圈；所述的晶圓固定模塊(5)安裝在轉盤(2)的下方，晶圓固定模塊(5)用于固定晶圓和通入干燥的熱空氣；所述的氣體注入模塊(6)安裝在殼體(3)的底部，氣體注入模塊(6)用于向殼體(3)內通入刻蝕氣體；

所述的轉盤(2)內開設有通道，通道數量為四，轉盤(2)內還開設有圓柱形空心腔室，圓柱形空心腔室數量為四，轉盤(2)還開設有凹槽一和圓柱形空心腔室相通，轉盤(2)上還安裝有T型插銷(21)，T型插銷(21)上設有凸起。

2.根據權利要求1所述的一種硅晶圓刻蝕裝置，其特征在于：所述的晶圓固定模塊(5)包括固定頭(51)、彈簧(52)、滑塊(53)、固定板(54)、扇形齒輪一(55)、扇形齒輪二(56)、壓緊塊(57)和夾緊塊一(58)，所述的固定頭(51)內開設有通道，固定頭(51)安裝在轉盤(2)的圓柱形空心腔室內，固定頭(51)的通道和轉盤(2)內的通道相通，固定頭(51)開設有凹槽二；所述的彈簧(52)的一端固定安裝在凹槽二上；所述的滑塊(53)固定連接在彈簧(52)的另一端上；所述的固定板(54)安裝在固定頭(51)上，固定板(54)上開設有通道，固定板(54)上的通道和固定頭(51)上的通道相通，固定板(54)上還開設有凹槽三，固定板(54)上還安裝有夾緊塊二(59)；所述的扇形齒輪一(55)安裝在凹槽三內；所述的扇形齒輪二(56)安裝在凹槽三內，扇形齒輪二(56)和扇形齒輪一(55)嚙合，扇形齒輪二(56)內安裝有扭簧；所述的壓緊塊(57)安裝在扇形齒輪一(55)上；所述的夾緊塊一(58)安裝在扇形齒輪二(56)上。

3.根據權利要求2所述的一種硅晶圓刻蝕裝置，其特征在于：所述的固定板(54)內置有加熱電阻絲，對通道內的干燥熱空氣進一步加熱，固定板(54)上還開設有通孔，通孔和固定板(54)上的通道相連，該通孔為階梯孔(60)。

4.根據權利要求1所述的一種硅晶圓刻蝕裝置，其特征在于：所述的氣體注入模塊(6)包括氣體注入管(61)、半球形殼罩(62)和扇葉(63)，所述的氣體注入管(61)位于殼體(3)的底部；所述的半球形殼罩(62)通過軸承轉動安裝在氣體注入管(61)的上端，半球形殼罩(62)上均勻開設有開孔；所述的扇葉(63)通過支桿(66)安裝在半球形殼罩(62)上。

5.根據權利要求4所述的一種硅晶圓刻蝕裝置，其特征在于：所述的扇葉(63)內開設有圓柱形空心腔室二(64)，扇葉(63)上還開設有圓形通孔，圓形通孔和圓柱形空心腔室二(64)相通；所述的圓柱形空心腔室二(64)內安裝有圓蓋(65)、支桿(66)、轉盤二(67)和電機二，所述的圓蓋(65)蓋在圓形通孔上；所述的轉盤二(67)安裝在圓柱形空心腔室二(64)內；所述的支桿(66)連接轉盤二(67)和圓蓋(65)；所述的電機二和轉盤二(67)固定連接。

6.根據權利要求4所述的一種硅晶圓刻蝕裝置，其特征在于：所述的半球形殼罩(62)上還安裝有半圓錐板(68)、圓銷、繩子(69)和微型電機(70)，所述的半圓錐板(68)圓銷鉸接在半球形殼罩(62)上，半圓錐板(68)上安裝有磁塊；所述的圓銷內設有扭簧；所述的繩子(69)一端和半圓錐板(68)連接；所述的微型電機(70)安裝在半球形殼罩(62)上，微型電機(70)的電機軸和繩子(69)的另一端固定連接。