[發明專利]一種透明導電薄膜的光照燒結處理方法

在審

• 申請號: 201810472448.1
• 申請日: 2018-05-17
• 公開（公告）號: CN108648857A
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發明（設計）人: 司榮美;潘中海;劉彩風
• 申請（專利權）人: 天津寶興威科技股份有限公司
• 主分類號: H01B5/14
• 分類號: H01B5/14;H01B13/00
• 代理公司: 天津市新天方專利代理有限責任公司 12104
• 代理人: 張強

本發明是一種透明導電薄膜的光照燒結處理方法，其步驟為：選用光學級鍍膜PET基材作為柔性基板；制備碳納米管水溶液；制備端羥基超支化聚合物修飾納米銀線；制備分散液；采用精密涂布的方式均勻的噴涂在柔性基板上；使用高能光脈沖進行燒結處理；透明導電薄膜表面發生熔化，相鄰的透明導電薄膜在柔性基板上形成均勻的網絡即實現了燒結。本發明操作簡單，通過使用高能光脈沖進行燒結處理，控制光照輸出功率和光照掃描速度，大大縮短了加工時間，避免了高溫或者酸性環境對透明導電薄膜柔性基板的變形破壞，保證了透明導電薄膜的物理粘結強度，通過采用碳納米管和端羥基超支化聚合物修飾納米銀線，增強了透明導電薄膜的導電性。

技術領域

本發明涉及柔性透明導電薄膜的燒結技術領域，尤其涉及一種透明導電薄膜的光照燒結處理方法。

背景技術

透明導電薄膜是一種既具有導電性，又具有高透光性的薄膜，一般是80％以上的高透明度和100Ohm/sq以下方阻的導電部件，廣泛應用于液晶顯示、觸控面板和太陽能電池等電子元器件領域。目前，制備透明導電薄膜通常采用在氫氣和氮氣混合氣氛下進行高溫燒結，或者采用酸洗的方法，但是，高溫燒結或者酸洗的方法存在工序時間長的缺陷，而且高溫燒結在還原氣氛中大大提高了加工成本，酸洗的酸性環境易對柔性基板造成變形破壞，無法保證透明導電薄膜的物理粘結強度。

發明內容

本發明旨在解決現有技術的不足，而提供一種透明導電薄膜的光照燒結處理方法。

本發明為實現上述目的，采用以下技術方案：

一種透明導電薄膜的光照燒結處理方法，其特征在于，其步驟如下：

(1)選用光學級鍍膜PET基材作為柔性基板，采用體積比為3:5的丙酮與乙醇混合溶劑對柔性基板進行除雜處理，控制頻率為60-130KHz，超聲清洗15-20min后取出，并用蒸餾水進行沖洗，沖洗完畢后置于60℃的真空干燥箱中進行干燥，干燥20-30min后取出置于干燥器中備用；

(2)稱取質量比為2:5的碳納米管和蒸餾水，將碳納米管加入到蒸餾水中，在超聲的條件下，控制溫度為25-30℃，頻率為70-80KHz，超聲10-16min混合均勻后，得到碳納米管水溶液，備用；

(3)稱取質量比為1:1000000的納米銀線和端羥基超支化聚合物水溶液，將納米銀線加入端羥基超支化聚合物水溶液中，室溫攪拌20h，過濾洗滌干燥后得到端羥基超支化聚合物修飾納米銀線；

(4)將步驟(3)中的端羥基超支化聚合物修飾納米銀線均勻的加入步驟(2)中的碳納米管水溶液中，室溫下超聲混合10-20min，頻率為40KHz，制得分散液；

(5)將步驟(4)中的分散液通過噴涂裝置采用精密涂布的方式均勻的噴涂在經步驟(1)處理后的柔性基板上，柔性基板固定在加熱盤上，加熱盤的溫度保持在35-55℃；

(6)將步驟(5)中的柔性基板放置在光燒結設備的實驗臺上，使用高能光脈沖進行燒結處理，開啟光源，調節光照輸出功率為205-220W，光照掃描速度為1-1.5mm/s；

(7)光源照射到透明導電薄膜上時，透明導電薄膜發生多光子吸收電離，價帶電子躍遷到導帶，晶格發生弱化，透明導電薄膜表面發生熔化，相鄰的透明導電薄膜在柔性基板上形成均勻的網絡即實現了燒結。

作為優選，所述步驟(2)中的碳納米管為單壁碳納米管或多壁碳納米管。

作為優選，所述步驟(3)中采用體積比為1:3的蒸餾水和乙醇混合液進行洗滌。

作為優選，所述步驟(5)中的噴涂裝置采用自動噴槍。

作為優選，所述步驟(6)中的光源為氙氣燈源。