[發明專利]數字化光刻系統和方法

有效

• 申請號: 201810456416.2
• 申請日: 2018-05-14
• 公開（公告）號: CN108681213B
• 公開（公告）日: 2020-01-31
• 發明（設計）人: 梅文輝;杜衛沖;敦士軍
• 申請（專利權）人: 中山新諾科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 11329 北京龍雙利達知識產權代理有限公司
• 代理人: 魏雪嬌;毛威

1.一種數字化光刻系統，其特征在于，包括：

基板，包括多個任務區域，其中每個任務區域用于放置一個或多個待曝光產品，且任意一個待曝光產品只位于一個任務區域中；

光學引擎陣列，設置在所述基板的上方，所述光學引擎陣列包括多個光學引擎；

移動平臺，固定在所述數字化光刻系統的基座上，用于承載所述基板并驅動所述基板平移；

引擎位置調整裝置，用于驅動所述光學引擎陣列中的光學引擎平移；

控制系統，根據所述多個任務區域的信息，控制所述移動平臺和所述引擎位置調整裝置，以使所述光學引擎陣列中的每個光學引擎曝光對應的任務區域，其中，每個任務區域由所述光學引擎陣列中的單個光學引擎進行曝光；

所述控制系統控制所述引擎位置調整裝置調整所述光學引擎陣列中每個光學引擎的起始位置，使得所述光學引擎陣列中光學引擎之間的橫向間距均為所述任務區域的長度的整數倍。

2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，

所述任務區域包括多個出圖區域，所述光學引擎陣列對所述多個任務區域進行曝光；

在所述出圖區域小于所述光學引擎的掃描區域時，所述控制系統控制所述光學引擎的部分數字微型反射鏡DMD關閉，以使得所述光學引擎完成對所述出圖區域的曝光。

3.根據權利要求1或2所述的系統，其特征在于，所述控制系統控制所述引擎位置調整裝置調整所述光學引擎陣列中每個光學引擎的起始位置，使得所述光學引擎陣列中光學引擎之間的縱向間距均為所述任務區域的寬度的整數倍。

4.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，所述控制系統控制所述引擎位置調整裝置調整所述光學引擎陣列中每個光學引擎的起始位置，使得所述每個光學引擎對應的任務區域在長度方向上包括最多一個小于所述掃描區域的出圖區域。

5.根據權利要求2或4所述的系統，其特征在于，所述控制系統控制所述引擎位置調整裝置調整所述光學引擎陣列中每個光學引擎的起始位置，使得所述每個光學引擎對應的任務區域在寬度方向上包括最多一個小于所述掃描區域的出圖區域。

6.根據權利要求1或2所述的系統，其特征在于，在曝光過程中，所述基板沿第一方向和第二方向平移，所述光學引擎陣列位置保持不變，所述第一方向和所述第二方向垂直。

7.一種數字化光刻的方法，所述方法應用于權利要求1至6中任一項所述的數字化光刻系統中，其特征在于，包括：

確定基板的多個任務區域，其中，每個任務區域包括一個或多個待曝光產品，且任意一個待曝光產品只位于一個任務區域中；

控制光學引擎陣列對所述多個任務區域進行曝光，所述每個任務區域由所述光學引擎陣列中的單個光學引擎進行曝光；

所述光學引擎陣列中光學引擎之間的橫向間距均為所述任務區域的長度的整數倍。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，所述任務區域包括多個出圖區域，所述控制所述光學引擎陣列對所述多個任務區域進行曝光，包括：

在所述出圖區域小于所述光學引擎的掃描區域時，關閉所述光學引擎的部分數字微型反射鏡DMD，以使得所述光學引擎完成對所述出圖區域的曝光。

9.根據權利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述光學引擎陣列中光學引擎之間的縱向間距均為所述任務區域的寬度的整數倍。

10.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，

各所述光學引擎的任務區域在長度方向上包括最多一個小于所述掃描區域的出圖區域。

11.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，

各所述光學引擎的任務區域在寬度方向上包括最多一個小于所述掃描區域的出圖區域。

12.根據權利要求7或8所述的方法，其特征在于，在曝光過程中，所述基板沿第一方向和第二方向平移，所述光學引擎陣列位置保持不變，所述第一方向和所述第二方向垂直。