[發(fā)明專利]一種反射型光束分割等比遞減器及其制作裝置、制作方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810449894.0
• 申請(qǐng)日: 2018-05-11
• 公開（公告）號(hào): CN108692920A
• 公開（公告）日: 2018-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳冰靜;張敏;齊文博;薛艷博;李奇;何俊華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號(hào): G01M11/02
• 分類號(hào): G01M11/02;G02B5/08
• 代理公司: 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司 61211
• 代理人: 楊引雪

本發(fā)明涉及一種反射型光束分割等比遞減器及其制作裝置、制作方法，解決現(xiàn)有分幅相機(jī)的動(dòng)態(tài)范圍通過臺(tái)階濾片測(cè)量，導(dǎo)致激光器的脈沖展寬，降低測(cè)量精度的問題。該反射型光束分割等比遞減器包括基體，基體的一面為反射面，反射面上鍍有等間距分布、反射率等比遞減的多種反射膜。同時(shí)，本發(fā)明還提供一種上述反射型光束分割等比遞減器的制作裝置及制作方法，該裝置包括壓板、固定底座、多孔光闌和單孔光闌；固定底座上設(shè)置有安裝反射型光束分割等比遞減器的卡槽，壓板設(shè)置在固定底座的上端；多孔光闌設(shè)置在卡槽的前端，用于設(shè)置反射型光束分割等比遞減器的鍍膜區(qū)域；單孔光闌設(shè)置在多孔光闌的前端，用于不同光闌孔的鍍膜。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光學(xué)領(lǐng)域，具體涉及一種反射型光束分割等比遞減器及其制作裝置、制作方法，該反射型光束分割等比遞減器可用于X光分幅相機(jī)動(dòng)態(tài)范圍的測(cè)量。

背景技術(shù)

在慣性約束聚變?cè)\斷的研究中，測(cè)量等離子體的溫度和密度兩維空間分布及其隨時(shí)間變化是研究的核心，此過程在數(shù)納秒時(shí)間內(nèi)完成，因此超快診斷設(shè)備必不可少。其中，X光分幅相機(jī)和X光條紋相機(jī)由于具有皮秒級(jí)別的時(shí)間分辨能力，成為最有效的診斷設(shè)備之一，它們的各項(xiàng)指標(biāo)，如動(dòng)態(tài)范圍、曝光時(shí)間和時(shí)間分辨率等標(biāo)定結(jié)果直接影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。

X光條紋相機(jī)的動(dòng)態(tài)范圍一般采用光學(xué)精密標(biāo)準(zhǔn)具測(cè)量。X光分幅相機(jī)的動(dòng)態(tài)范圍可采用臺(tái)階濾片測(cè)量，臺(tái)階濾片等此類器件多為透射型器件，會(huì)對(duì)激光器的脈寬產(chǎn)生影響。作為皮秒時(shí)間特性系統(tǒng)的精密標(biāo)定源，激光器的脈寬對(duì)相機(jī)的動(dòng)態(tài)范圍、時(shí)間分辨等參數(shù)的測(cè)量精度有重要的影響。導(dǎo)致激光器脈沖展寬的主要因素為光束傳輸過程中產(chǎn)生的色散，包括光束傳輸經(jīng)過的玻璃介質(zhì)、膜層介質(zhì)和大氣環(huán)境。相較于玻璃介質(zhì)，膜層介質(zhì)和真空環(huán)境對(duì)脈沖展寬的影響可以忽略不計(jì)。對(duì)于譜寬為1nm的激光器而言，光束傳輸經(jīng)過10mm厚的玻璃介質(zhì)，其脈沖展寬約10％。因此，采用透射型器件臺(tái)階濾片測(cè)量X光分幅相機(jī)的動(dòng)態(tài)范圍，易導(dǎo)致激光器的脈沖展寬，降低了測(cè)量精度。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是解決現(xiàn)有X光分幅相機(jī)的動(dòng)態(tài)范圍通過臺(tái)階濾片測(cè)量，導(dǎo)致激光器的脈沖展寬，降低測(cè)量精度的問題，提供一種反射型光束分割等比遞減器及其制作裝置、制作方法。相較于透射型器件，反射型光束分割等比遞減器為反射型器件，降低了對(duì)激光器脈寬的影響。本發(fā)明方法是一種鍍等間距分布、強(qiáng)度遞減的多種膜層的鍍膜方法。

本發(fā)明的技術(shù)方案是：

一種反射型光束分割等比遞減器，包括基體，所述基體的一面為反射面，所述反射面上鍍有等間距分布、反射率等比遞減的多種反射膜。

進(jìn)一步地，所述反射膜為六種。

進(jìn)一步地，第一種反射膜的反射率大于95％，其余五種反射膜的反射率按40％依次遞減。

進(jìn)一步地，所述基體采用玻璃或金屬材料制作。

進(jìn)一步地，所述基體為立方體。

進(jìn)一步地，所述基體除反射面外的其他表面為毛面或帶有楔角的面，毛面或帶有楔角的面可有效地避免反射光對(duì)子光束的干擾。

同時(shí)，本發(fā)明還提供一種制作上述反射型光束分割等比遞減器的裝置，該裝置包括壓板、固定底座、多孔光闌和單孔光闌；所述固定底座上設(shè)置有安裝反射型光束分割等比遞減器的卡槽，所述壓板設(shè)置在固定底座的上端，用于壓緊反射型光束分割等比遞減器；所述多孔光闌設(shè)置在卡槽的前端，用于設(shè)置反射型光束分割等比遞減器的鍍膜區(qū)域；所述單孔光闌設(shè)置在多孔光闌的前端，用于不同光闌孔的鍍膜。

進(jìn)一步地，所述單孔光闌兩側(cè)均設(shè)有腰型槽，用于單孔光闌的平移。

進(jìn)一步地，所述多孔光闌通過螺釘固定設(shè)置在固定底座上。

此外，本發(fā)明還提供一種利用上述裝置制作反射型光束分割等比遞減器的方法，包括以下步驟：

1)將基體安裝在固定底座的卡槽中，上方用壓板壓緊；