[發(fā)明專利]一種摻鐵激光晶體缺陷檢測方法和裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810437914.2
• 申請日: 2018-05-09
• 公開（公告）號: CN108663381B
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 潘其坤;陳飛;謝冀江;張闊;何洋;于德洋
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 深圳市科進知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44316
• 代理人: 趙勍毅

1.一種摻鐵激光晶體缺陷檢測裝置，其特征在于，所述裝置包括激光器、限徑光闌、鍍膜合束鏡、鍍膜分束鏡、激光取樣鏡、激光功率計、夾持組件、數(shù)據(jù)采集卡、計算機；

所述激光器包括第一激光器和第二激光器，所述限徑光闌包括第一限徑光闌和第二限徑光闌，所述鍍膜分束鏡包括第一鍍膜分束鏡和第二鍍膜分束鏡；所述數(shù)據(jù)采集卡包括位置信息采集卡和功率采集卡，所述功率采集卡包括第一功率采集卡、第二功率采集卡、第三功率采集卡、第四功率采集卡、第五功率采集卡；所述激光功率計包括第一激光功率計、第二激光功率計、第三激光功率計、第四激光功率計、第五激光功率計；

所述夾持組件用于夾持待測激光晶體，并能夠調(diào)節(jié)所述待測激光晶體在水平和豎直兩個方向上運動；所述位置信息采集卡用于采集待測激光晶體的位置信息；

所述第一激光器用于發(fā)出第一激光，所述第二激光器用于發(fā)出第二激光；所述第一激光能夠被鐵離子吸收，所述第二激光不會被鐵離子吸收；

第一限徑光闌、鍍膜合束鏡、待測激光晶體沿第一激光光路依次設(shè)置，第二限徑光闌設(shè)置于第二激光的光路上；

所述第一限徑光闌用于對第一激光進行限徑，所述第二限徑光闌用于對第二激光進行限徑，以使得限徑后的第一激光和第二激光的光斑均小于在待測激光晶體表面發(fā)生的相鄰兩次反射或透射光的橫向偏移距離；

所述鍍膜合束鏡用于對第一激光和經(jīng)過激光取樣鏡反射的第二激光進行合束，將合束后的激光射入到待測激光晶體表面；所述第一激光功率計用于檢測入射到待測激光晶體之前的第一激光的功率值，并通過第一功率采集卡傳輸給計算機；所述第二激光功率計用于檢測入射到待測激光晶體之前的第二激光的功率值，并通過第二功率采集卡傳輸給計算機；

所述第一鍍膜分束鏡用于對在待測激光晶體表面發(fā)生反射的合束光線進行分束，生成第一分束激光和第二分束激光；所述第三激光功率計用于檢測從第一鍍膜分束鏡透射的第一分束激光的功率值，并通過第三功率采集卡傳輸給計算機；

所述第二鍍膜分束鏡用于對在待測激光晶體表面發(fā)生透射的合束光線進行分束，生成第三分束激光和第四分束激光；所述第四激光功率計用于檢測從第二鍍膜分束鏡透射的第三分束激光的功率值，并通過第四功率采集卡傳輸給計算機；所述第五激光功率計用于檢測從第二鍍膜分束鏡反射的第四分束激光的功率值，并通過第五功率采集卡傳輸給計算機；

所述計算機用于接收第一功率采集卡、第二功率采集卡、第三功率采集卡、第四功率采集卡、第五功率采集卡傳輸?shù)墓β手担约按郎y激光晶體的位置信息，計算得到待測晶體表面的缺陷特征信息；所述缺陷特征包括晶體內(nèi)部缺陷特征信息和晶體鐵離子吸收缺陷特征信息。

2.如權(quán)利要求1所述的摻鐵激光晶體缺陷檢測裝置，其特征在于，所述裝置還包括激光吸能器，所述激光吸能器用于對第二分束激光進行吸收。

3.如權(quán)利要求1所述的摻鐵激光晶體缺陷檢測裝置，其特征在于，所述鍍膜合束鏡的第一端面鍍第一激光波長范圍的半透半反射膜，第二端面鍍第二激光波長范圍的高反射膜以及第一激光波長范圍的高透射膜。

4.如權(quán)利要求1所述的摻鐵激光晶體缺陷檢測裝置，其特征在于，所述鍍膜合束鏡的第一端面鍍第一激光波長范圍的半透半反射膜，第二端面鍍第二激光波長范圍的高反射膜以及第一激光波長范圍的高透射膜；所述第一端面為接收第一激光的端面，所述第二端面為接收經(jīng)過激光取樣鏡反射的第二激光的端面。

5.如權(quán)利要求1所述的摻鐵激光晶體缺陷檢測裝置，其特征在于，所述鍍膜分束鏡的兩個端面鍍第一激光波長范圍的高反射膜以及第二激光波長范圍的高透射膜。

6.如權(quán)利要求1所述的摻鐵激光晶體缺陷檢測裝置，其特征在于，所述激光取樣鏡的端面鍍第二激光波長范圍的高反射膜。

7.如權(quán)利要求1所述的摻鐵激光晶體缺陷檢測裝置，其特征在于，所述激光功率計的分辨率在10^-6W/cm²以上。