[發(fā)明專利]Micro LED顯示面板的制作方法及Micro LED顯示面板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810403827.5
• 申請日: 2018-04-28
• 公開（公告）號: CN108493154B
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳黎暄
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L21/77
• 分類號: H01L21/77;H01L27/32
• 代理公司: 深圳市德力知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44265
• 代理人: 林才桂;王中華

1.一種Micro LED顯示面板的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟S1、提供一驅(qū)動(dòng)基板(11)，在所述驅(qū)動(dòng)基板(11)上形成陣列排布的多個(gè)下像素電極(12)，在各個(gè)下像素電極(12)上分別形成垂直結(jié)構(gòu)的Micro LED(13)，所述各個(gè)下像素電極(12)分別與其對應(yīng)Micro LED(13)的下電極電性連接；

步驟S2、提供一封裝基板(21)，在所述封裝基板(21)上形成陣列排布的多個(gè)上像素電極(22)，在各個(gè)上像素電極(22)上形成彈性導(dǎo)電層(23)；

步驟S3、將所述封裝基板(21)與所述驅(qū)動(dòng)基板(11)對組并加壓，使得各個(gè)上像素電極(22)通過彈性導(dǎo)電層(23)分別與其對應(yīng)的Micro LED(13)固定貼合并與所述Micro LED(13)的上電極電性連接；

所述封裝基板(21)與所述驅(qū)動(dòng)基板(11)對組貼合前，還包括在所述驅(qū)動(dòng)基板(11)或封裝基板(21)上形成支撐物(30)；所述支撐物(30)的高度小于所述驅(qū)動(dòng)基板(11)和封裝基板(21)之間的間隙。

2.如權(quán)利要求1所述的Micro LED顯示面板的制作方法，其特征在于，所述步驟S2中通過在各個(gè)上像素電極(22)上涂布第一溶液形成所述彈性導(dǎo)電層(23)。

3.如權(quán)利要求2所述的Micro LED顯示面板的制作方法，其特征在于，所述第一溶液包括：第一溶劑以及分散于所述第一溶劑中的多個(gè)彈性導(dǎo)電球，第一溶劑為能夠固化的溶劑。

4.如權(quán)利要求3所述的Micro LED顯示面板的制作方法，其特征在于，所述步驟S3中在所述封裝基板(21)與所述驅(qū)動(dòng)基板(11)對組并加壓的同時(shí)還進(jìn)行固化處理，使得彈性導(dǎo)電層(23)中的第一溶劑固化。

5.如權(quán)利要求4所述的Micro LED顯示面板的制作方法，其特征在于，在所述第一溶劑固化前，所述彈性導(dǎo)電層(23)的厚度小于所述彈性導(dǎo)電球在自然狀態(tài)下的直徑的兩倍，在所述第一溶劑固化后，所述彈性導(dǎo)電層(23)的厚度小于所述彈性導(dǎo)電球在自然狀態(tài)下的直徑。

6.如權(quán)利要求1所述的Micro LED顯示面板的制作方法，其特征在于，所述步驟S2中通過在各個(gè)上像素電極(22)上涂布具有彈性的導(dǎo)電膠形成所述彈性導(dǎo)電層(23)。

7.一種Micro LED顯示面板，其特征在于，包括：驅(qū)動(dòng)基板(11)、與所述驅(qū)動(dòng)基板(11)相對設(shè)置的封裝基板(21)、設(shè)于所述驅(qū)動(dòng)基板(11)靠近封裝基板(21)的一側(cè)陣列排布的多個(gè)下像素電極(12)、設(shè)于所述封裝基板(21)靠近所述驅(qū)動(dòng)基板(11)的一側(cè)的與所述多個(gè)下像素電極(12)相對的多個(gè)上像素電極(22)、設(shè)于各個(gè)下像素電極(12)與上像素電極(22)之間的Micro LED(13)以及設(shè)于所述各個(gè)Micro LED(13)與上像素電極(22)之間的彈性導(dǎo)電層(23)，所述Micro LED(13)為垂直結(jié)構(gòu)的Micro LED，所述各個(gè)下像素電極(12)分別與其對應(yīng)的Micro LED(13)的下電極電性連接，所述各個(gè)上像素電極(22)通過彈性導(dǎo)電層(23)分別與其對應(yīng)的Micro LED(13)的上電極電性連接；

還包括位于所述驅(qū)動(dòng)基板(11)靠近封裝基板(21)的一側(cè)或所述封裝基板(21)靠近所述驅(qū)動(dòng)基板(11)的一側(cè)的支撐物(30)；所述支撐物(30)的高度小于所述驅(qū)動(dòng)基板(11)和封裝基板(21)之間的間隙。

8.如權(quán)利要求7所述的Micro LED顯示面板，其特征在于，所述彈性導(dǎo)電層(23)的材料為第一溶液或具有彈性的導(dǎo)電膠，所述第一溶液包括：第一溶劑以及分散于所述第一溶劑中的多個(gè)彈性導(dǎo)電球，第一溶劑為能夠固化的溶劑。