[發明專利]一種基于MEMS傳感器的數字電源電路

在審

• 申請號: 201810383166.4
• 申請日: 2018-04-26
• 公開（公告）號: CN108614136A
• 公開（公告）日: 2018-10-02
• 發明（設計）人: 喻偉輝
• 申請（專利權）人: 蘇州惠貝電子科技有限公司
• 主分類號: G01R1/28
• 分類號: G01R1/28;G01R31/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種基于MEMS傳感器的數字電源電路，本發明涉及電路測試技術領域，解決現有技術其電流源功耗高、穩定性差且現有技術環路振蕩器中存在大量脈沖噪聲且通用性低等技術問題。本發明包括高精度振蕩電路；多電流鏡電路，其輸出具有固定偏置的電流；單脈沖產生電路，其輸出交變電流脈沖；緩沖頻率匹配電路，接收單脈沖產生電路輸出的交變電流脈沖；基準MEMS傳感器，輸出具有其計時環路性能特征的反饋基準時鐘；還包括第一待測MEMS傳感器，接收第一方波脈沖序列且輸出具有其計時環路性能特征的第一反饋時鐘；第二待測MEMS傳感器，接收第二方波脈沖序列且輸出具有其計時環路性能特征的第二反饋時鐘。

技術領域

本發明涉及電路測試技術領域，具體涉及一種基于MEMS傳感器的數字電源電路。

背景技術

時序電路需要處理的脈沖為大動態范圍的交變電流脈沖。主流測試方法為直接接入MEMS電源，進行測試。但目前的主流測試設備并不配備高速交流電流型脈沖源，所以在進行MEMS傳感器量產抽檢測試時，很難進行交流信號測試。有些廠商因此而放棄交流測試，在量產測試過程中只進行直流測試，從而導致芯片匹配能力與耐受性沒有被充分測試，測試覆蓋率大大降低。有些廠商為了保證測試覆蓋率，購買定制的專用測試脈沖源，但由于定制測試設備的成本較高，從而導致大大提高了芯片的測試成本。

目前，雖然現有的信號發生器已經相當成熟了，但是電磁噪聲對信號發生器的干擾一直存在，直接影響產品的長期穩定性和可靠性。另一方面，在數字電路、模擬傳感器、精密儀器儀表等方面，對信號發生器中輸出波形的要求越來越高。傳統的電路，形式比較復雜，使用較多的微信號器件，容易受惡劣環境的干擾，長期使用存在一定的隱患，其長期可靠性不能夠得到保證?，F有技術方波發生器的穩定性和頻率特性都有待提高。

發明內容

針對上述現有技術，本發明目的在于提供，解決現有技術不能同時檢測多個MEMS傳感器、其電流源功耗高且穩定性差，現有技術環路振蕩器中存在大量脈沖噪聲且通用性低等技術問題。

為達到上述目的，本發明采用的技術方案如下：

一種基于MEMS傳感器的數字電源電路，包括：

高精度振蕩電路，其輸出三角波脈沖、具有相對相位差第一方波脈沖序列和第二方波脈沖序列，其中包括由場效應晶體管電路和反相器電路構成三條對應脈沖的輸出路徑；

多電流鏡電路，其輸出具有固定偏置的電流；

單脈沖產生電路，其兩個輸入端分別連接到所述高精度振蕩電路和所述多電流鏡電路的輸出端、其輸出時鐘脈沖調制所述三角波脈沖TCLK和所述電流且輸出交變電流脈沖；

緩沖頻率匹配電路，接收單脈沖產生電路輸出的交變電流脈沖；

基準MEMS傳感器，接收緩沖頻率匹配電路輸出的相關交變電流脈沖且對應相關交變電流脈沖輸出具有其計時環路性能特征的反饋基準時鐘；

還包括

第一待測MEMS傳感器，接收第一方波脈沖序列且輸出具有其計時環路性能特征的第一反饋時鐘；

第二待測MEMS傳感器，接收第二方波脈沖序列且輸出具有其計時環路性能特征的第二反饋時鐘；

其中，所述的反饋基準時鐘，通過與第一反饋時鐘比較獲得第一時鐘差以及與第二反饋時鐘比較獲得第二時鐘差；

其中，所述的第一時鐘差和第二時鐘差，與經驗時鐘差比較，滿足相對經驗時鐘差偏離變化±5%以內的第一待測MEMS傳感器或第二待測MEMS傳感器為合格品。

上述方案中，所述單脈沖產生電路包括第一NMOS管，其漏極連接到所述多電流鏡電路的輸出端，其柵極連接到所述高精度振蕩電路的輸出端，其源極連接到所述單脈沖產生電路的輸出端。