[發明專利]清洗光刻版的輔助載具和光刻版清洗機

有效

• 申請號: 201810380557.0
• 申請日: 2018-04-25
• 公開（公告）號: CN108776422B
• 公開（公告）日: 2022-02-11
• 發明（設計）人: 黃杰
• 申請（專利權）人: 華燦光電（蘇州）有限公司
• 主分類號: G03F1/82
• 分類號: G03F1/82
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138
• 代理人: 徐立

1.一種清洗光刻版的輔助載具，其特征在于，所述輔助載具用于可拆卸固定在清洗機的載臺上；

所述輔助載具包括載板及至少兩個壓塊，所述載板上設置有安裝槽，所述安裝槽內開設有用于供清洗液流過的第一通孔，所述至少兩個壓塊沿所述安裝槽的邊沿間隔均勻布置，每個所述壓塊可轉動地設置在所述載板上，所述壓塊的轉動軸位于所述壓塊的中部，所述壓塊被所述轉動軸分為第一部分和第二部分，所述第一部分延伸到所述載板的上方，所述第二部分延伸到所述載板的下方，所述壓塊的重心位于所述第二部分上，所述第一部分與所述第二部分朝向所述載板的一側之間的夾角為θ，120°≤θ＜180°。

2.根據權利要求1所述的清洗光刻版的輔助載具，其特征在于，所述壓塊上設置有第二通孔，所述第二通孔內插設有所述轉動軸，所述轉動軸與所述第二通孔為間隙配合；

所述載板上設置有至少兩對安裝耳部，所述至少兩對安裝耳部與所述至少兩個壓塊一一對應，所述壓塊的轉動軸的兩端分別固定在一對所述安裝耳部上。

3.根據權利要求1或2所述的清洗光刻版的輔助載具，其特征在于，所述第一部分的端部設置有弧形凸起。

4.根據權利要求1或2所述的清洗光刻版的輔助載具，其特征在于，所述安裝槽的深度為2mm。

5.根據權利要求1或2所述的清洗光刻版的輔助載具，其特征在于，所述安裝槽的形狀為長方體。

6.根據權利要求1或2所述的清洗光刻版的輔助載具，其特征在于，所述第一通孔為矩形孔。

7.根據權利要求6所述的清洗光刻版的輔助載具，其特征在于，所述第一通孔的相對設置的兩側上分別設置有一個半圓形通孔。

8.根據權利要求1或2所述的清洗光刻版的輔助載具，其特征在于，所述輔助載具采用聚醚醚酮制作。

9.根據權利要求1或2所述的清洗光刻版的輔助載具，其特征在于，所述載板為長方體狀，所述載板的四角處設置有直角凹槽。

10.一種光刻版清洗機，其特征在于，所述光刻版清洗機包括如權利要求1-9任一項所述的清洗光刻版的輔助載具。