[發明專利]泄漏檢測方法、以及非暫時性的計算機可讀取記錄介質有效
| 申請號： | 201810348533.7 | 申請日： | 2018-04-18 |
| 公開（公告）號： | CN108723976B | 公開（公告）日： | 2021-07-13 |
| 發明（設計）人： | 作川卓;高橋信行;丸山徹 | 申請（專利權）人： | 株式會社荏原制作所 |
| 主分類號： | B24B37/005 | 分類號： | B24B37/005;B24B49/00;F17D5/02;F17D3/18;F17D3/01;B24B37/10;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海華誠知識產權代理有限公司 31300 | 代理人： | 張麗穎 |
| 地址： | 日本國東京都*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 泄漏 檢測 方法 以及 暫時性 計算機 讀取 記錄 介質 | ||
1.一種泄漏檢測方法，其特征在于：
在使研磨頭的隔膜接觸于靜止面的狀態下，向通過所述隔膜形成的壓力室內供給壓縮氣體，
在向所述壓力室內供給所述壓縮氣體期間，一邊用壓力調節器調節所述壓力室內的所述壓縮氣體的壓力，一邊測定所述壓縮氣體的流量，
測定所述壓力室內的所述壓縮氣體的壓力，
決定所述壓縮氣體的壓力變動在允許變動幅度內時所測定的所述壓縮氣體的流量是否在基準范圍內，
當所述流量在所述基準范圍之外時生成泄漏檢測信號。
2.如權利要求1所述的泄漏檢測方法，其特征在于，
決定所述壓縮氣體的流量是否在基準范圍內的工序是如下工序：
決定所述壓縮氣體的壓力變動在所述允許變動幅度內的時刻，
決定在經過所述時刻之前測定且在預定的時間幅度內測定的所述壓縮氣體的流量是否在基準范圍內。
3.如權利要求1所述的泄漏檢測方法，其特征在于，
決定所述壓縮氣體的流量是否在基準范圍內的工序是如下工序：
決定所述壓縮氣體的壓力變動在所述允許變動幅度內的時刻，
決定在經過所述時刻之后測定且在預定的時間幅度內測定的所述壓縮氣體的流量是否在基準范圍內。
4.如權利要求1所述的泄漏檢測方法，其特征在于，
在校正所述壓力調節器期間，決定所述流量的測定值是否在所述基準范圍內。
5.一種記錄有程序的非暫時性的計算機可讀取記錄介質，所述程序用于使計算機執行以下步驟：
在使研磨頭的隔膜接觸于靜止面的狀態下，取得供給至通過所述隔膜形成的壓力室內的壓縮氣體的流量的測定值的步驟；
對壓力調節器發出指令，使所述壓力調節器執行調節所述壓力室內的所述壓縮氣體的壓力的動作的步驟；
取得所述壓力室內的所述壓縮氣體的壓力的測定值的步驟；
決定所述壓縮氣體的壓力變動在允許變動幅度內時所測定的所述壓縮氣體的流量是否在基準范圍內的步驟；及
當所述流量在所述基準范圍之外時生成泄漏檢測信號的步驟。
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