[發(fā)明專利]包含金屬覆蓋的密封件、其制造方法及其使用方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810343907.6 | 申請日： | 2018-04-17 |
| 公開（公告）號： | CN109578581B | 公開（公告）日： | 2022-03-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 洪鵬程;蒲俊良;許文亮;高崇豪;洪家駿;吳正一;李錦思 | 申請（專利權(quán)）人： | 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | F16J15/00 | 分類號： | F16J15/00 |
| 代理公司： | 北京律誠同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金國 |
| 地址： | 中國臺(tái)灣新竹市*** | 國省代碼： | 臺(tái)灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 包含 金屬 覆蓋 密封件 制造 方法 及其 使用方法 | ||
1.一種密封件，其特征在于，包含：
一主體，包含一全氟化彈性體且該全氟化彈性體包含一填料，其中該填料包含全氟化四氟乙烯，且該主體的至少一表面具有經(jīng)蝕刻形成的多個(gè)孔；
一覆蓋層，設(shè)置于該主體的該至少一表面上并填滿該些孔，該覆蓋層包含至少一金屬；以及
一催化劑，設(shè)置于該覆蓋層與該主體的該至少一表面之間，其中該催化劑包含錫金屬、鈀金屬或其組合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封件，其特征在于，該覆蓋層中的該至少一金屬是選自由鋁、銅、金、銀及其組合所組成的群組。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封件，其特征在于，該覆蓋層是由鋁所制成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封件，其特征在于，該覆蓋層具有一厚度為10微米至約10,000微米。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封件，其特征在于，該密封件是選自由密封口、墊圈、O型密封圈、T型密封圈所組成的群組，該密封件是圈形配置或其尺寸或形狀被設(shè)置為提供圈形配置，并沿著主體的延長形狀而延伸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封件，其特征在于，該主體具有半圓形或半橢圓形的一橫截面，該主體的該至少一表面對應(yīng)于該主體的一頂表面。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的密封件，其特征在于，受到該覆蓋層所覆蓋的該主體的該頂表面是半圓形或半橢圓形的一平坦表面。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封件，其特征在于，該主體具有半圓形或半橢圓形的一橫截面，該覆蓋層設(shè)置于該主體的一外表面上并完全覆蓋或部分地覆蓋該主體的該外表面。
9.一密封件的一種制造方法，其特征在于，包含以下步驟：
經(jīng)由一雙重固化系統(tǒng)使一過氧化物催化一基底聚合物及一第一固化位點(diǎn)單體發(fā)生交聯(lián)，以固化一全氟化彈性體，其中該基底聚合物由一四氟乙烯單體及一全氟烷基乙烯基醚單體所制成，該第一固化位點(diǎn)單體具有至少一官能基，且該至少一官能基包括腈基、羧基及烷氧基羰基中的至少一者；
提供一主體，包含該全氟化彈性體且該全氟化彈性體包含一填料；
蝕刻該主體的至少一表面，以在該至少一表面上形成多個(gè)孔；
施用一催化劑至該主體的該至少一表面上，其中該催化劑包含錫金屬或錫離子、鈀金屬或鈀離子或其組合；以及
形成一覆蓋層于該主體的該至少一表面上，該覆蓋層包含至少一金屬，其中該覆蓋層填滿該些孔。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制造方法，其特征在于，該填料包含全氟化四氟乙烯。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制造方法，其特征在于，該主體是由模制及固化一聚合彈性體而提供。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制造方法，其特征在于，該覆蓋層中的該至少一金屬是選自由鋁、銅、金、銀及其組合所組成的群組。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制造方法，其特征在于，是使用一制程形成該覆蓋層，該制程是選自由濺射、電鍍、塑料電鍍和無電電鍍所組成的群組。
14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制造方法，其特征在于，形成該覆蓋層的所述步驟包含使用酸來蝕刻該主體的至少一表面的一步驟。
15.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制造方法，其特征在于，該主體具有半圓形或半橢圓形的一橫截面，該覆蓋層形成于該主體的一外表面上，該主體的一頂表面是半圓形或半橢圓形的一平坦表面。
16.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制造方法，其特征在于，該主體具有半圓形或半橢圓形的一橫截面，該覆蓋層形成于該主體的一外表面上并完全覆蓋或部分地覆蓋該主體的該外表面。
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