[發明專利]石英以及增加石英抗激光損傷性能的方法

有效

• 申請號: 201810342443.7
• 申請日: 2018-04-17
• 公開（公告）號: CN108455870B
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發明（設計）人: 李昌朋;李青芝;石兆華;邵婷;夏漢定;孫來喜;葉鑫;吳衛東;蔣曉東
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00;C03C17/245
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 吳開磊

1.一種增加石英抗激光損傷性能的方法，其特征在于，包括以下步驟：

對石英基片進行刻蝕處理后在所述石英基片上沉積二氧化硅；在沉積所述二氧化硅的同時，對沉積的所述二氧化硅進行熔融；在所述石英基片上沉積所述二氧化硅是將保護氣體和四氯化硅的混合氣體與氧氣反應后得到的二氧化硅沉積到刻蝕后的所述石英基片的表面；熔融是利用高頻等離子焰對沉積的所述二氧化硅進行熔燒而后在所述石英基片表面形成玻璃涂層。

2.根據權利要求1所述的增加石英抗激光損傷性能的方法，其特征在于，刻蝕是在超聲條件下用酸溶液中對所述石英基片刻蝕0.5-3小時。

3.根據權利要求2所述的增加石英抗激光損傷性能的方法，其特征在于，所述酸溶液為氫氟酸。

4.根據權利要求2所述的增加石英抗激光損傷性能的方法，其特征在于，所 述酸溶液為氫氟酸緩沖液。

5.根據權利要求4所述的增加石英抗激光損傷性能的方法，其特征在于，所述氫氟酸緩沖液是氫氟酸、氟化鹽和水按照體積比為1:4:8-15的比例混合后制備得到。

6.根據權利要求5所述的增加石英抗激光損傷性能的方法，其特征在于，所述氟化鹽為氟化銨。

7.根據權利要求2所述的增加石英抗激光損傷性能的方法，其特征在于，刻蝕所述石英基片之前對所述石英基片進行預處理。

8.根據權利要求7所述的增加石英抗激光損傷性能的方法，其特征在于，預處理是將所述石英基片依次使用堿液、超純水和酸液進行清洗。

9.根據權利要求8所述的增加石英抗激光損傷性能的方法，其特征在于，堿液清洗是使用堿液對所述石英基片超聲清洗0.5-2小時，

超純水清洗是使用超純水對堿液清洗后的所述石英基片超聲清洗0.5-1小時，

酸液清洗是使用酸液對超純水清洗后的所述石英基片超聲清洗0.5-2小時。

10.根據權利要求9所述的增加石英抗激光損傷性能的方法，其特征在于，所述堿液為堿性表面活性劑，所述酸液為無機酸和氧化劑的混合液。

11.根據權利要求10所述的增加石英抗激光損傷性能的方法，其特征在于，所述堿液為弱堿性表面活性劑；

所述無機酸為強酸，所述氧化劑為雙氧水。

12.根據權利要求11所述的增加石英抗激光損傷性能的方法，其特征在于，所述無機酸為硝酸；

所述混合液為所述硝酸和所述雙氧水按照體積比為1.5-2.5:1的比例混合得到的液體。

13.根據權利要求1所述的增加石英抗激光損傷性能的方法，其特征在于，刻蝕完成后使用超純水漂洗所述石英基片0.5-1小時后晾干。

14.根據權利要求1所述的增加石英抗激光損傷性能的方法，其特征在于，所述混合氣體是將所述保護氣體與所述四氯化硅按照體積比為3-6:1的比例混合。

15.一種石英，其特征在于，其通過權利要求1所述的增加石英抗激光損傷性能的方法制備得到。