[發明專利]高度位置檢測單元的評價用治具和評價方法

有效

• 申請號: 201810341730.6
• 申請日: 2018-04-17
• 公開（公告）號: CN108723584B
• 公開（公告）日: 2021-11-16
• 發明（設計）人: 古田健次
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B23K26/04
• 分類號: B23K26/04;B23K26/70
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;喬婉

1.一種高度位置檢測單元的評價用治具，其是激光加工裝置的高度位置檢測單元的評價用治具，該激光加工裝置具有：

卡盤工作臺，其利用保持面對被加工物進行保持；

激光光線照射單元，其將對于被加工物具有透過性的波長的加工用激光光線照射至該卡盤工作臺所保持的被加工物，該激光光線照射單元具有激光振蕩器和會聚加工用激光光線的聚光器；

聚光點位置調整單元，其使該加工用激光光線的聚光點位置移位；

所述高度位置檢測單元，其將檢測用激光光線通過該聚光器而照射至該卡盤工作臺所保持的被加工物，對該被加工物的上表面高度位置進行檢測；以及

控制單元，其根據來自該高度位置檢測單元的檢測信號對該聚光點位置調整單元進行控制，

其中，該高度位置檢測單元的評價用治具具有：

被照射面，其被照射該檢測用激光光線；

致動器，其使該被照射面在與該被照射面垂直的方向上移動；

基臺部，其對該致動器進行支承并載置于該保持面上；以及

控制部，其對該致動器的移動進行控制，

其中，所述評價用治具位于所述卡盤工作臺的所述保持面上。

2.根據權利要求1所述的高度位置檢測單元的評價用治具，其中，

該致動器由壓電致動器或音圈電動機構成。

3.根據權利要求1所述的高度位置檢測單元的評價用治具，其中，所述評價用治具還包括：

被照射部件，其中，所述被照射面被包括在所述被照射部件上；以及

筒部，所述筒部位于所述基臺部上，并且被設置成保持所述被照射部件，所述被照射部件能夠在所述筒部中移動。

4.根據權利要求3所述的高度位置檢測單元的評價用治具，其中，所述筒部包括形成為圓筒狀的圓筒部。

5.一種激光加工裝置的高度位置檢測單元的評價方法，其中，該評價方法具有如下的步驟：

將評價用治具載置于該激光加工裝置的卡盤工作臺的保持面上，所述評價用治具包括：被照射面，其被照射檢測用激光光線；致動器，其使該被照射面在與該被照射面垂直的方向上移動；基臺部，其對該致動器進行支承并載置于該保持面上；以及控制部，其對該致動器的移動進行控制；

設定移動程序，該移動程序對該評價用治具的該致動器進行控制而使該被照射面按照期望的振幅進行移動；

對載置于該保持面的該評價用治具的該被照射面照射該激光加工裝置的檢測用激光光線，利用該激光加工裝置的高度位置檢測單元對通過該移動程序而按照期望的振幅進行移動的該被照射面的高度位置的變動進行檢測；

對通過所述高度位置檢測單元檢測出的該高度位置的變動與該期望的振幅進行比較，以及

對該高度位置檢測單元是否能夠檢測出該被照射面的高度位置進行判定。

6.根據權利要求5所述的評價方法，其中，在沿Z軸方向移動所述被照射面且不沿X軸方向移動所述被照射面的同時，執行所述照射以及對高度位置的變化的所述檢測。