[發(fā)明專利]用于滾轉(zhuǎn)角和直線度測量的激光干涉系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810335853.9
• 申請日: 2018-04-13
• 公開（公告）號: CN108489424A
• 公開（公告）日: 2018-09-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金濤;唐一揆;韓夢瑩;劉景林;侯文玫
• 申請（專利權(quán)）人: 上海理工大學(xué)
• 主分類號: G01B11/26
• 分類號: G01B11/26;G01B11/27
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 吳寶根;徐穎

1.一種用于滾轉(zhuǎn)角和直線度測量的激光干涉系統(tǒng)，兩個大小對稱的直角三棱鏡，將兩個直角三棱鏡的直角邊長度相等的平面相互膠合，膠合面上鍍有一層偏振分光膜PBS構(gòu)成Koster棱鏡，其特征在于，Koster棱鏡、第一1/4波片、兩個相同斜面的楔角棱鏡上下膠合而成的楔角棱鏡及兩個同樣大小與性質(zhì)的楔角反射鏡上下膠合而成楔角反射鏡依次上下對稱放置在同一光軸上；

第一激光源的光束從Koster棱鏡的第一直角三棱鏡的斜面入射到Koster棱鏡的偏振分光膜上，并同時激光源提供參考電信號到第一相位計(jì)；偏振分光膜將光束分為兩束偏振方向相互正交的p光和s光，其中p光的振動方向平行于入射面，s光的振動方向垂直于入射面，p光和s光分別經(jīng)由第二直角三棱鏡的斜面和第一直角三棱鏡的斜面反射，從兩個直角三棱鏡組成的直角面射出Koster棱鏡，依次經(jīng)過第一1/4波片到達(dá)楔角棱鏡兩個斜面，經(jīng)過楔角棱鏡內(nèi)部折射出射到楔角反射鏡兩個斜面，再經(jīng)過楔角反射鏡反射原路返回，再進(jìn)入Koster棱鏡被合光后從第二直角三棱鏡的斜面出射到角隅棱鏡后經(jīng)過反射輸出高度不同的平行光，平行光再次進(jìn)入Koster棱鏡分光進(jìn)入第一1/4波片、楔角棱鏡和楔角反射鏡后返回進(jìn)入Koster棱鏡合光從第一直角三棱鏡的斜面出射通過第一起偏器后，由第一光電檢測器接收，轉(zhuǎn)變成為測量電信號進(jìn)入第一相位計(jì)，楔角棱鏡沿光軸前后移動，根據(jù)第一相位計(jì)得到的測量電信號與參考電信號之間的相位差測得；

第二激光源的光束從Koster棱鏡的第二直角三棱鏡的斜面入射到Koster棱鏡的偏振分光膜上，并同時激光源提供參考電信號到第二相位計(jì)；經(jīng)過Koster棱鏡分光后從兩個直角三棱鏡組成的直角面射出Koster棱鏡，依次經(jīng)過第一1/4波片到達(dá)楔角棱鏡兩個斜面，經(jīng)過楔角棱鏡內(nèi)部折射出射到楔角反射鏡兩個斜面，再經(jīng)過楔角反射鏡反射原路返回，再進(jìn)入Koster棱鏡被合光后從第一直角三棱鏡的斜面出射到第二1/4波片線偏振光轉(zhuǎn)變?yōu)閳A偏振光后進(jìn)入角隅棱鏡經(jīng)過反射輸出高度不同的平行光再經(jīng)過第二1/4波片圓偏振光轉(zhuǎn)變?yōu)榫€偏振光后，再次進(jìn)入Koster棱鏡分光進(jìn)入第一1/4波片、楔角棱鏡和楔角反射鏡后返回進(jìn)入Koster棱鏡合光從第二直角三棱鏡的斜面出射通過第二起偏器后，由第二光電檢測器接收，轉(zhuǎn)變成為測量電信號進(jìn)入第二相位計(jì)，楔角棱鏡繞光軸方向產(chǎn)生滾轉(zhuǎn)角，根據(jù)第二相位計(jì)得到的測量電信號與參考電信號之間的偏移量測得。