[發(fā)明專利]一種微電子元器件旋轉(zhuǎn)清洗裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810334498.3
• 申請(qǐng)日: 2018-04-14
• 公開（公告）號(hào): CN108554889A
• 公開（公告）日: 2018-09-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 艾蒙雁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽吉乃爾電器科技有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/02
• 分類號(hào): B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 北京風(fēng)雅頌專利代理有限公司 11403
• 代理人: 楊紅梅

本發(fā)明公開了一種微電子元器件旋轉(zhuǎn)清洗裝置，涉及微電子清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括清洗槽、驅(qū)動(dòng)裝置和旋轉(zhuǎn)噴射裝置，所述清洗槽內(nèi)部設(shè)有放置臺(tái)，所述清洗槽正上方位置的設(shè)有旋轉(zhuǎn)座一，所述支柱上端設(shè)有頂板，所述頂板中間位置設(shè)有旋轉(zhuǎn)座二，所述伺服電機(jī)固定在電機(jī)固定板，所述鏈輪一固定在伺服電機(jī)的輸出軸上，所述鏈輪二固定在旋轉(zhuǎn)管上，所述旋轉(zhuǎn)噴射裝置包括旋轉(zhuǎn)管和旋轉(zhuǎn)噴射管，所述旋轉(zhuǎn)管穿過旋轉(zhuǎn)座一和旋轉(zhuǎn)座二進(jìn)入清洗槽內(nèi)部，所述旋轉(zhuǎn)噴射管上端與旋轉(zhuǎn)管固定連接，所述旋轉(zhuǎn)噴射管上設(shè)有豎直噴射管和橫向噴射管。本發(fā)明整個(gè)裝置結(jié)構(gòu)緊湊，自動(dòng)化程度高，對(duì)微電子元器件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)清洗，采用清洗液噴射清洗，清洗效果好，清洗效率高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及微電子清洗裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種微電子元器件旋轉(zhuǎn)清洗裝置。

背景技術(shù)

微電子產(chǎn)品在生產(chǎn)加工過程中會(huì)因各種因素的影響導(dǎo)致產(chǎn)品受到污染。一般情況下，這些污染物會(huì)通過物理吸附或化學(xué)吸附等方式存留在產(chǎn)品表面，對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命會(huì)造成嚴(yán)重的影響。例如，在生產(chǎn)硅片時(shí)，一些污染物的離子或粒子會(huì)存留在硅片表面或氧化膜中。這主要是因?yàn)樯a(chǎn)加工過程中，硅片的化學(xué)鍵受到了破壞，加劇了污染物的吸附力度。這種情況給硅片的清洗工作帶來了很大的難度。目前，我國(guó)使用的微電子清洗手段主要有兩種，即干法清洗和濕法清洗。

旋轉(zhuǎn)清洗法是一種綜合性比較強(qiáng)的清洗技術(shù)，將化學(xué)溶劑法、機(jī)械清洗法進(jìn)行有機(jī)結(jié)合，可以有效清洗硅片表面的污染物，清洗原理為：旋轉(zhuǎn)清洗法通過機(jī)械的方法，使硅片保持高速旋轉(zhuǎn)，在這種情況下，向硅片表面噴灑清洗液，使清洗液與硅片表面的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，溶解硅片表面的污染物，從而完成清洗工作。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明目的在于提供一種微電子元器件旋轉(zhuǎn)清洗裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

一種微電子元器件旋轉(zhuǎn)清洗裝置，包括清洗槽、驅(qū)動(dòng)裝置和旋轉(zhuǎn)噴射裝置，所述清洗槽上方設(shè)有延伸板，且延伸板與清洗槽固定連接，所述清洗槽內(nèi)部設(shè)有放置臺(tái)，所述延伸板左側(cè)設(shè)有豎直架板，所述豎直架板上設(shè)有電機(jī)固定板，所述清洗槽正上方位置的設(shè)有旋轉(zhuǎn)座一，且旋轉(zhuǎn)座一通過螺栓固定在延伸板上，所述延伸板上設(shè)有四組支柱，所述支柱上端設(shè)有頂板，所述頂板中間位置設(shè)有旋轉(zhuǎn)座二，且旋轉(zhuǎn)座二通過螺栓固定在頂板上，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括伺服電機(jī)、鏈輪一、鏈輪二和鏈條，所述伺服電機(jī)固定在電機(jī)固定板，所述鏈輪一固定在伺服電機(jī)的輸出軸上，所述旋轉(zhuǎn)噴射裝置包括旋轉(zhuǎn)管和旋轉(zhuǎn)噴射管，所述鏈輪二固定在旋轉(zhuǎn)管上，所述鏈條通過鏈輪一和鏈輪二張緊，所述旋轉(zhuǎn)管穿過旋轉(zhuǎn)座一和旋轉(zhuǎn)座二進(jìn)入清洗槽內(nèi)部，且與旋轉(zhuǎn)座一和旋轉(zhuǎn)座二均固定連接，所述旋轉(zhuǎn)噴射管上端與旋轉(zhuǎn)管固定連接，所述旋轉(zhuǎn)噴射管上設(shè)有豎直噴射管和橫向噴射管。

優(yōu)選的，所述豎直噴射管上設(shè)有橫向噴頭，所述橫向噴射管上設(shè)有豎直噴頭，所述橫向噴頭和豎直噴頭均可為銅制噴頭。

優(yōu)選的，所述旋轉(zhuǎn)噴射管上部設(shè)有流量調(diào)節(jié)閥。

優(yōu)選的，所述放置臺(tái)上設(shè)有定位銷。

優(yōu)選的，所述旋轉(zhuǎn)管上端設(shè)有進(jìn)水管接頭，所述進(jìn)水管接頭與旋轉(zhuǎn)管可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

優(yōu)選的，所述清洗槽下方設(shè)有排污套管。

優(yōu)選的，所述清洗槽正面需裝防水門，所述防水門采用透明樹脂材料制成。