[發明專利]一種電子元件機械清洗裝置

在審

• 申請號: 201810334492.6
• 申請日: 2018-04-14
• 公開（公告）號: CN108480261A
• 公開（公告）日: 2018-09-04
• 發明（設計）人: 艾蒙雁
• 申請（專利權）人: 安徽吉乃爾電器科技有限公司
• 主分類號: B08B1/04
• 分類號: B08B1/04;B08B3/08;B08B13/00
• 代理公司: 北京風雅頌專利代理有限公司 11403
• 代理人: 楊紅梅

本發明公開了一種電子元件機械清洗裝置，涉及微電子清洗設備技術領域，包括承載裝置和清洗裝置，清洗裝置包括外殼，外殼下端外表面左右兩側對稱設有支撐板，外殼中部設有清洗組件，承載裝置包括承載底座，承載底座內設有夾持組件，外殼中部設有圓柱形凹槽，圓柱形凹槽底部設有動力裝置，動力裝置包括電機，電機設于圓柱形凹槽底部，電機的伸出端設有圓形擦片，擦片下表面設有擦刷。本裝置可以快速對電子元件上、下兩個表面的微粒、灰塵或殘膠進行清洗，并且通過本裝置的開合，自動完成對電子元件的翻轉，這種方法簡單快捷，大大提高了工作效率。

技術領域

本發明涉及微電子清洗設備技術領域，具體為一種電子元件機械清洗裝置。

背景技術

微電子產品在生產加工過程中會因各種因素的影響導致產品受到污染。一般情況下，這些污染物會通過物理吸附或化學吸附等方式存留在產品表面，對產品的質量和使用壽命會造成嚴重的影響。例如，在生產硅片時，一些污染物的離子或粒子會存留在硅片表面或氧化膜中。這主要是因為生產加工過程中，硅片的化學鍵受到了破壞，加劇了污染物的吸附力度。這種情況給硅片的清洗工作帶來了很大的難度。目前，我國使用的微電子清洗手段主要有兩種，即干法清洗和濕法清洗。

機械清洗法屬于濕法清洗，具有較強的限制性，在清洗電子元件表面殘渣或顆粒時具有較強的實效性，這種清洗方法在國外得到了廣泛應用。按照性質來劃分，機械清洗分為手工清洗和機械清洗兩種。其中，手工清洗法的成本比較低，由清洗人員用鑷子夾取帶有有機溶液的棉球，對硅片表面帶有污染物的地方進行清洗，從而達到清洗的效果，但這種清洗方法加大了硅片表面劃傷的可能，會影響電子元件的質量。而機械清洗法則是采用的是高壓擦片機和機械擦刷機等機械，可以有效清洗電子元件上的污染物，相比于手工清洗法來說，機械清洗法對電子元件造成損傷的可能性較小，通用的機械擦刷機無法自動完成對電子元件正、反兩面同時清洗，當需要清洗電子元件另一面時，需要取下電子元件重新放置，這一過程可能造成電子元件表面重新附著灰塵，而且這一操作過程比較浪費時間。

發明內容

本發明目的在于提供一種電子元件機械清洗裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

一種電子元件機械清洗裝置，包括承載裝置和清洗裝置，所述清洗裝置包括外殼，所述外殼下端外表面左右兩側對稱設有支撐板，所述外殼中部設有清洗組件，所述承載裝置包括承載底座，所述承載底座內設有夾持組件。

優選的，所述外殼中部設有圓柱形凹槽，所述圓柱形凹槽底部設有動力裝置，所述動力裝置包括電機，所述電機設于圓柱形凹槽底部，所述電機的伸出端設有圓形擦片，所述擦片下表面設有擦刷。

優選的，所述承載底座中部設有半圓柱凹槽，所述半圓柱凹槽左右兩端設有轉動槽，所述承載底座外表面左右對稱設有推動組件，所述推動組件與支撐板配合連接，所述半圓柱凹槽內轉動連接有夾持組件。

優選的，所述夾持組件包括U型板和卡板，所述U型板兩端設有卡槽，所述卡板兩端對稱設有卡桿，所述卡桿與卡槽滑動連接，所述卡槽上部設有緊固螺栓。

優選的，所述U型板左右兩端中部對稱設有轉動軸，所述轉動軸與U型板焊接，所述轉動軸上設有翻轉組件。

優選的，所述翻轉組件包括轉動板一和轉動板二，所述轉動板一設于左端轉動軸中部，且與左端的轉動槽轉動連接，轉動板二設于右端轉動軸中部，且與右端的轉動槽轉動連接，所述轉動板一和轉動板二外側均對稱設有四分之一齒輪且與相對應的轉動槽轉動連接，所述外殼下表面中心對稱設有齒條，所述齒條與轉動槽滑動連接且與四分之一齒輪配合。

優選的，所述轉動板一和轉動板二外側的四分之一齒輪對應位置夾角成90度設置。

優選的，所述擦刷為軟羊毛刷。