[發(fā)明專利]存儲器的焊盤結(jié)構(gòu)及其制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810328852.1 | 申請日： | 2018-04-13 |
| 公開（公告）號： | CN108346636B | 公開（公告）日： | 2023-10-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 請求不公布姓名 | 申請（專利權(quán)）人： | 長鑫存儲技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/485 | 分類號： | H01L23/485;H01L21/60 |
| 代理公司： | 北京名華博信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11453 | 代理人： | 李冬梅 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 存儲器 盤結(jié) 及其 制造 方法 | ||
1.一種存儲器的焊盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：
底墊金屬，形成在襯底上；
多個第一導(dǎo)體栓塞，設(shè)置在所述底墊金屬的周邊區(qū)上；
中間層緩沖墊，有間隔地對準并位于所述底墊金屬上，所述第一導(dǎo)體栓塞縱向連接所述底墊金屬與所述中間層緩沖墊；
多個第二導(dǎo)體栓塞，設(shè)置在所述中間層緩沖墊的周邊區(qū)上；以及
表面接合墊，有間隔地對準并位于所述中間層緩沖墊上，所述第二導(dǎo)體栓塞縱向連接所述中間層緩沖墊與所述表面接合墊；
其中，所述中間層緩沖墊為網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，所述第一導(dǎo)體栓塞和所述第二導(dǎo)體栓塞相對偏離所述中間層緩沖墊的中央?yún)^(qū)的縱向投射區(qū)域。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述中間層緩沖墊的中央?yún)^(qū)為挖空結(jié)構(gòu)，所述中間層緩沖墊的周邊區(qū)為網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的焊盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述中間層緩沖墊的周邊區(qū)中的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的網(wǎng)格為矩形格。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的焊盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述矩形格的長邊與寬邊的比介于3和10之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的焊盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述中間層緩沖墊的中央?yún)^(qū)的挖空結(jié)構(gòu)占據(jù)所述中間層緩沖墊的尺寸的范圍為所述中間層緩沖墊的尺寸的20％至60％。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括：
第一介電層，形成在所述底墊金屬與所述中間層緩沖墊之間，所述第一介電層具有多個第一連接孔，所述多個第一導(dǎo)體栓塞形成在所述多個第一連接孔中；以及
第二介電層，形成在所述中間層緩沖墊與所述表面接合墊之間，所述第二介電層具有多個第二連接孔，所述多個第二導(dǎo)體栓塞形成在所述多個第二連接孔中。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述多個第一導(dǎo)體栓塞包括圍繞所述底墊金屬的周邊設(shè)置的多排第一導(dǎo)體栓塞，所述多排第一導(dǎo)體栓塞的排數(shù)介于3至5排之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述多個第二導(dǎo)體栓塞包括圍繞所述中間層緩沖墊的周邊設(shè)置的多排第二導(dǎo)體栓塞，所述多排第二導(dǎo)體栓塞的排數(shù)介于3至5排之間。
9.一種存儲器的焊盤結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，包括：
提供襯底；
在襯底上形成底墊金屬；
在所述底墊金屬的周邊區(qū)上設(shè)置多個第一導(dǎo)體栓塞；
將中間層緩沖墊有間隔地對準并位于所述底墊金屬上，由此所述第一導(dǎo)體栓塞縱向連接所述底墊金屬與所述中間層緩沖墊；
在所述中間層緩沖墊的周邊區(qū)上設(shè)置多個第二導(dǎo)體栓塞；以及
將表面接合墊有間隔地對準并位于所述中間層緩沖墊上，由此所述第二導(dǎo)體栓塞縱向連接所述中間層緩沖墊與所述表面接合墊；
其中，所述中間層緩沖墊為網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，所述第一導(dǎo)體栓塞和所述第二導(dǎo)體栓塞相對偏離所述中間層緩沖墊的中央?yún)^(qū)的縱向投射區(qū)域。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述中間層緩沖墊的中央?yún)^(qū)為挖空結(jié)構(gòu)，所述中間層緩沖墊的周邊區(qū)為網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，所述中間層緩沖墊的周邊區(qū)中的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的網(wǎng)格為矩形格。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，所述矩形格的長邊與寬邊的比介于3和10之間。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，所述中間層緩沖墊的中央?yún)^(qū)的挖空結(jié)構(gòu)占據(jù)所述中間層緩沖墊的尺寸的范圍為所述中間層緩沖墊的尺寸的20％至60％。
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