[發(fā)明專利]靜電激勵-壓阻檢測石墨烯微機械諧振器裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810318398.1
• 申請日: 2018-04-11
• 公開（公告）號: CN108696264A
• 公開（公告）日: 2018-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 邢維巍;孫璐;樊尚春;馬翠萍
• 申請（專利權(quán)）人: 北京航空航天大學(xué)
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/05;H03H9/24
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 11251
• 代理人: 楊學(xué)明;盧紀(jì)

1.靜電激勵-壓阻檢測石墨烯微機械諧振器裝置，其特征在于：包括微結(jié)構(gòu)(1)和配套電路(2)；微結(jié)構(gòu)(1)包括梁(11)、襯底(12)、支撐對(13)和電極組(14)；梁(11)為由石墨烯材料制成的梁諧振器；襯底(12)上表面為平面；支撐對(13)包括第一支撐(131)和第二支撐(132)，均為上下表面平行的絕緣體且厚度相同；電極組(14)包括多個電極，均為導(dǎo)電薄膜；配套電路(2)包括第一電阻器(21)、第二電阻器(22)、第一基準(zhǔn)源(23)、第二基準(zhǔn)源(24)、激勵源組(25)；第一基準(zhǔn)源(23)和第二基準(zhǔn)源(24)均為直流電壓基準(zhǔn)，第一基準(zhǔn)源(23)輸出電位高于第二基準(zhǔn)源(24)輸出電位；激勵源組(25)包括多個激勵源，且多個激勵源均為正弦信號源，相鄰激勵源輸出信號相位相反；電極組(14)與激勵源組(25)數(shù)目相同；支撐對(13)下表面固定于襯底(12)上表面；梁(11)的兩端分別固定于第一支撐(131)和第二支撐(132)上表面；電極組(14)固定于襯底(12)上表面、位于梁(11)下方的部分，沿梁(11)軸向線性排列；第一電阻器(21)的一端連接第一基準(zhǔn)源(23)，另一端連接梁(11)一端；第二電阻器(22)的一端連接梁(11)另一端，第二電阻器(22)另一端連接第二基準(zhǔn)源(24)；電極組(14)電極與激勵源組(25)激勵源一一對應(yīng)，且需保證考慮相位的激勵源交流分量與對應(yīng)電極電容量的乘積的總和為零。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電激勵-壓阻檢測石墨烯微機械諧振器裝置，其特征在于：所述的梁(11)選用矩形石墨烯梁諧振器/異形石墨烯梁諧振器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電激勵-壓阻檢測石墨烯微機械諧振器裝置，其特征在于：所述的襯底(4)材料為硅/金屬/碳化硅，表面覆絕緣層，與電極組(14)絕緣。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電激勵-壓阻檢測石墨烯微機械諧振器裝置，其特征在于：所述的襯底(4)材料為氮化硅。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電激勵-壓阻檢測石墨烯微機械諧振器裝置，其特征在于：所述的支撐對(5)材料為二氧化硅/氮化硅/聚二甲基硅氧烷。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電激勵-壓阻檢測石墨烯微機械諧振器裝置，其特征在于：所述的電極組(14)材料為摻雜多晶硅、單晶硅材料，或鎳、鐵、鉛、鉑等金屬材料，或石墨烯材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電激勵-壓阻檢測石墨烯微機械諧振器裝置，其特征在于：所述的電極組(14)電極可以根據(jù)梁(11)諧振狀態(tài)確定數(shù)目及相對梁(11)的位置。