[發(fā)明專利]一種采用紅外線加熱退火優(yōu)化透明導(dǎo)電薄膜質(zhì)量的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810312783.5
• 申請日: 2018-04-09
• 公開（公告）號: CN108468019A
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉生忠;常遠(yuǎn)程;馮江山;朱小寧;朱學(xué)杰;吳強(qiáng);肖鋒偉;楊釗;李云虎;鄧增社
• 申請（專利權(quán)）人: 陜西煤業(yè)化工技術(shù)研究院有限責(zé)任公司;陜西師范大學(xué)
• 主分類號: C23C14/08
• 分類號: C23C14/08;C23C14/58;C23C16/40;C23C16/56;C23C4/11;C23C4/18
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200
• 代理人: 徐文權(quán)

1.一種采用紅外線加熱退火優(yōu)化透明導(dǎo)電薄膜質(zhì)量的方法，其特征在于，首先在襯底上制備透明導(dǎo)電薄膜；再將制備的透明導(dǎo)電薄膜放置在紅外線照射下進(jìn)行加熱退火熱處理，得到優(yōu)化的透明導(dǎo)電薄膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的采用紅外線加熱退火優(yōu)化透明導(dǎo)電薄膜質(zhì)量的方法，其特征在于，襯底為柔性襯底或者剛性襯底；所述柔性襯底包括可彎曲或者可纏繞的高分子薄膜；剛性襯底為玻璃、石英、藍(lán)寶石或者硅基底中的一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的采用紅外線加熱退火優(yōu)化透明導(dǎo)電薄膜質(zhì)量的方法，其特征在于，在柔性襯底上制備透明導(dǎo)電薄膜和退火處理時(shí)，使用卷到卷技術(shù)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的采用紅外線加熱退火優(yōu)化透明導(dǎo)電薄膜質(zhì)量的方法，其特征在于，退火熱處理是在真空條件下，在氧氣、空氣、氮?dú)饣驓鍤鈿夥罩羞M(jìn)行。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的采用紅外線加熱退火優(yōu)化透明導(dǎo)電薄膜質(zhì)量的方法，其特征在于，透明導(dǎo)電薄膜為摻雜的氧化銦、摻雜的氧化錫和摻雜的氧化鋅的一種或多種的混合物、合金或疊層薄膜。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的采用紅外線加熱退火優(yōu)化透明導(dǎo)電薄膜質(zhì)量的方法，其特征在于，透明導(dǎo)電薄膜的厚度為0.1μm～2.5μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的采用紅外線加熱退火優(yōu)化透明導(dǎo)電薄膜質(zhì)量的方法，其特征在于，紅外線波長為2.5μm～15μm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的采用紅外線加熱退火優(yōu)化透明導(dǎo)電薄膜質(zhì)量的方法，其特征在于，襯底上制備透明導(dǎo)電氧化物薄膜是采用熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、真空濺射、化學(xué)氣相沉積或噴涂的方式制備。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的采用紅外線加熱退火優(yōu)化透明導(dǎo)電薄膜質(zhì)量的方法，其特征在于，加熱溫度為200℃～230℃。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的采用紅外線加熱退火優(yōu)化透明導(dǎo)電薄膜質(zhì)量的方法，其特征在于，所述紅外線加熱時(shí)的加熱功率為200W～300W。