[發明專利]一種耐熱性光刻膠組合物有效
| 申請號： | 201810301085.5 | 申請日： | 2018-04-04 |
| 公開（公告）號： | CN108535960B | 公開（公告）日： | 2022-09-20 |
| 發明（設計）人： | 康文兵 | 申請（專利權）人： | 倍晶新材料（山東）有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/004 | 分類號： | G03F7/004;G03F7/008;G03F7/038 |
| 代理公司： | 上海融力天聞律師事務所 31349 | 代理人： | 張一超 |
| 地址： | 271000 山東省泰安市*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 耐熱性 光刻 組合 | ||
【權利要求書】：
1.一種耐熱性酚醛樹脂光刻膠組合物，其特征在于，按重量份數計，包括：
a）基礎光刻膠；
b）耐熱性樹脂；
其中，所述基礎光刻膠主要組分為酚醛樹脂和光敏劑；所述耐熱性樹脂通過酰胺基單體(Ⅰ)、酰亞胺單體(Ⅱ)、丙烯酸酯類單體共聚得到，為了達到堿溶目的，需要在共聚過程中配比一定量的含羧基化合物或堿溶性的含酚羥基化合物；
所述基礎光刻膠與所述耐熱性樹脂的重量比為60：40至95：5；
所述酰胺基單體（Ⅰ）和酰亞胺單體（Ⅱ）的化學結構式如下（Ⅰ）和（Ⅱ）所示：
（Ⅰ） （Ⅱ）
其中：R1為氫或甲基；R2為氫，烷基，取代烷基或芳香族基團；R3為氫，烷基，取代烷基，苯基，取代苯基或芳香族基團；
所述取代烷基為甲基，乙基，丙基或苯基取代烷基；所述取代苯基為甲基苯基，對羥基苯基，對羧基苯基，萘基或蒽基；所述芳香族基團為具有磺酰胺基或羥基的苯基。
2.根據權利要求1所述的耐熱性酚醛樹脂光刻膠組合物，其特征在于，所述含羧基化合物為甲基丙烯酸、丙烯酸或馬來酸。
3.根據權利要求1至2任一項所述的耐熱性酚醛樹脂光刻膠組合物，其特征在于，所述耐熱性酚醛樹脂光刻膠組合物的酸值為20-300，重量平均分子量為300-500000。
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