[發明專利]散熱裝置、半導體生產系統及散熱風扇的故障監測方法

有效

• 申請號: 201810297111.1
• 申請日: 2018-04-04
• 公開（公告）號: CN110345096B
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: F04D27/00
• 分類號: F04D27/00;H01L21/67
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種散熱裝置，其特征在于，包括：

散熱風扇，包括電機；及，

電流監測模塊，具有輸入端及輸出端，其中，所述電流監測模塊的輸入端與所述電機相連接，用以監測所述電機的感應電流的大小，所述電流監測模塊的輸出端用于輸出監測到的所述感應電流；

模數轉換器，所述模數轉換器的輸入端與所述電流監測模塊的輸出端相連接，用以將所述電流監測模塊監測到的所述感應電流轉換成數字信號，所述模數轉換器的輸出端用于輸出轉換的所述數字信號；

傳輸模塊，所述傳輸模塊的輸入端與所述模數轉換器的輸出端相連接，用以傳輸所述模數轉換器轉換的數字信號，所述傳輸模塊的輸出端用于輸出所述數字信號；

報警模塊，所述報警模塊的一端與所述傳輸模塊的輸出端相連接，用以在所述電機的感應電流異常時發出報警信息的同時發出緊急停機信號，所述報警模塊具有通信模塊；

延時模塊，所述延時模塊與所述報警模塊相連接且所述延時模塊與一半導體生產設備相連接，用于在所述半導體生產設備處于執行工藝操作時攔截所述緊急停機信號，并所述延時模塊與連接至所述半導體生產設備的供電裝置相連接且所述延時模塊與所述半導體生產設備相連接，用于在所述半導體生產設備結束工藝操作時將所述緊急停機信號發送至所述供電裝置，由所述供電裝置控制所述半導體生產設備停機。

2.根據權利要求1所述的散熱裝置，其特征在于：所述電流監測模塊包括電流傳感器。

3.根據權利要求1所述的散熱裝置，其特征在于：所述傳輸模塊包括電纜。

4.根據權利要求1所述的散熱裝置，其特征在于：所述傳輸模塊包括光電轉換器及光纖，所述光電轉換器的一端與所述模數轉換器的輸出端相連接，所述光電轉換器的另一端與所述光纖相連接；其中，所述光電轉換器與所述模數轉換器的輸出端相連接的一端為所述傳輸模塊的輸入端，所述光纖遠離所述光電轉換器的一端為所述傳輸模塊的輸出端。

5.根據權利要求1所述的散熱裝置，其特征在于：所述散熱裝置還包括顯示模塊，所述顯示模塊與所述傳輸模塊的輸出端相連接。

6.一種半導體生產系統，其特征在于，包括：

半導體生產設備；

供電裝置，所述供電裝置與所述半導體生產設備相連接；

散熱裝置，包括散熱風扇及電流監測模塊，其中，所述散熱風扇位于所述供電裝置內，用于給所述供電裝置散熱，所述散熱風扇包括電機；所述電流監測模塊具有輸入端及輸出端，所述電流監測模塊的輸入端與所述電機相連接，用以監測所述電機的感應電流的大小，所述電流監測模塊的輸出端用于輸出監測到的所述感應電流；

模數轉換器，所述模數轉換器的輸入端與所述電流監測模塊的輸出端相連接，用以將所述電流監測模塊監測到的所述感應電流轉換成數字信號，所述模數轉換器的輸出端用于輸出轉換的所述數字信號；

傳輸模塊，所述傳輸模塊的輸入端與所述模數轉換器的輸出端相連接，用以傳輸所述模數轉換器轉換的所述數字信號，所述傳輸模塊的輸出端用于輸出所述數字信號；

報警模塊，所述報警模塊的一端與所述傳輸模塊的輸出端相連接，用以在所述電機的感應電流異常時發出報警信息的同時發出緊急停機信號，所述報警模塊具有通信模塊；

延時模塊，所述延時模塊與所述報警模塊相連接且所述延時模塊與一半導體生產設備相連接，用于在所述半導體生產設備處于執行工藝操作時攔截所述緊急停機信號，并所述延時模塊與連接至所述半導體生產設備的供電裝置相連接且所述延時模塊與所述半導體生產設備相連接，用于在所述半導體生產設備結束工藝操作時將所述緊急停機信號發送至所述供電裝置，由所述供電裝置控制所述半導體生產設備停機。

7.根據權利要求6所述的半導體生產系統，其特征在于：所述電流監測模塊包括電流傳感器。

8.根據權利要求6所述的半導體生產系統，其特征在于：所述傳輸模塊包括電纜。