[發明專利]致動傳感模塊

在審

• 申請號: 201810296007.0
• 申請日: 2018-03-30
• 公開（公告）號: CN110320321A
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發明（設計）人: 莫皓然;韓永隆;黃啟峰;蔡長諺;李偉銘
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00;G01N1/24
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 喻學兵

1.一種致動傳感模塊，其特征在于，包含：

一主體，內部由一隔板區隔出一第一隔室及一第二隔室，以及設有一進氣口，連通該第一隔室，設有一出氣口，連通該第二隔室，而該隔板具有一連通口，以連通該第一隔室及該第二隔室，使該主體的內部由該進氣口、該第一隔室、該連通口、該第二隔室及該出氣口構成一氣體通道；

一致動器，封閉設置于該第二隔室及該隔板之間，以致動導送氣體，由該進氣口快速導入該第一隔室，并透過該連通口連通而導送于該第二隔室中，再由該出氣口排出，構成該氣體通道的單一方向氣體快速導送；以及

一氣體傳感器，設置于該第一隔室中，并與該致動器保持相互隔離，并對流通于表面的氣體進行監測。

2.如權利要求1所述的致動傳感模塊，其特征在于，該氣體傳感器包含一氧氣傳感器、一一氧化碳傳感器及一二氧化碳傳感器的至少其中之一或其任意組合而成的群組的氣體傳感器。

3.如權利要求1所述的致動傳感模塊，其特征在于，該氣體傳感器包含一揮發性有機物氣體傳感器。

4.如權利要求1所述的致動傳感模塊，其特征在于，該氣體傳感器包含監測細菌、病毒及微生物的至少其中之一或其任意組合而成的群組的氣體傳感器。

5.如權利要求1所述的致動傳感模塊，其特征在于，該致動器為一微機電系統氣體泵。

6.如權利要求1所述的致動傳感模塊，其特征在于，該致動器為一氣體泵，其包含：

一進氣板，具有至少一進氣孔、至少一匯流排孔以及一匯流腔室，其中該至少一進氣孔供導入氣流，該匯流排孔對應該進氣孔，且引導該進氣孔的氣流匯流至該匯流腔室；

一共振片，具有一中空孔對應該匯流腔室，且該中空孔的周圍為一可動部；以及

一壓電致動器，與該共振片相對應設置；

其中，該進氣板、該共振片及該壓電致動器依序對應堆疊設置，該共振片與該壓電致動器之間具有一間隙形成一腔室，以使該壓電致動器受驅動時，使氣流由該進氣板的該至少一進氣孔導入，經該至少一匯流排孔匯集至該匯流腔室，再流經該共振片的該中空孔，以進入該腔室內，由該壓電致動器與該共振片的可動部產生共振傳輸氣流。

7.如權利要求6所述的致動傳感模塊，其特征在于，該壓電致動器包含：

一懸浮板，具有一第一表面及一第二表面，且可彎曲振動；

一外框，環繞設置于該懸浮板之外側；

至少一支架，連接于該懸浮板與該外框之間，以提供彈性支撐；

以及

一壓電元件，具有一邊長，該邊長小于或等于該懸浮板的一邊長，且該壓電元件貼附于該懸浮板的一第一表面上，用以施加電壓以驅動該懸浮板彎曲振動。

8.如權利要求7所述的致動傳感模塊，其特征在于，該懸浮板為一正方形懸浮板，并具有一凸部。

9.如權利要求6所述的致動傳感模塊，其特征在于，該致動器包括一導電片以及一絕緣片，其中該進氣板、該共振片、該壓電致動器、該導電片、該絕緣片及依序堆疊設置。

10.如權利要求1所述的致動傳感模塊，其特征在于，該主體包括一第一本體及一第二本體，其中該第一本體及該第二本體相互對接，且該隔板設置于該第一本體、該第二本體之間，以使該第一本體、該隔板之間構成該第一隔室，該第二本體、該隔板之間構成第二隔室，而該進氣口設置于該第一本體、該隔板之間連通該第一隔室，該出氣口設置于該第二本體、該隔板之間連通該第二隔室。

11.如權利要求10所述的致動傳感模塊，其特征在于，該第一本體具有一第一連接穿孔，以供電性軟板穿伸入連接該氣體傳感器，并連接后封膠封閉該第一連接穿孔，避免該氣體由該第一連接穿孔導入該第一隔室。