[發明專利]一種大尺寸藍寶石光學晶體的熱處理工藝在審
| 申請號： | 201810275048.1 | 申請日： | 2018-03-30 |
| 公開（公告）號： | CN108239789A | 公開（公告）日： | 2018-07-03 |
| 發明（設計）人： | 梁志強;林海;王銀惠;王西彬;周天豐;解麗靜;焦黎;劉志兵 | 申請（專利權）人： | 北京理工大學 |
| 主分類號： | C30B33/02 | 分類號： | C30B33/02;C30B29/20 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知識產權代理有限公司 11340 | 代理人： | 劉黎明 |
| 地址： | 100081 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 大尺寸藍寶石 藍寶石表面 熱處理工藝 殘余應力 光學晶體 速度階段 研磨 退火 晶體材料加工 分階段保溫 藍寶石 單面拋光 機械加工 受熱均勻 雙面拋光 超精密 毛坯件 回火 磨削 位錯 溫差 | ||
1.一種大尺寸藍寶石光學晶體的熱處理工藝，其特征是，對經過超精密磨削、研磨、拋光后大尺寸藍寶石晶塊進行熱處理，升溫、降溫過程分為十個階段，直到溫度降至室溫；
第一階段：溫度在室溫-200℃時，以3℃/min速度進行升溫；
第二階段：溫度在200℃-1100℃時，以4℃/min速度進行升溫；
第三階段：溫度在1100℃-1300℃時，以3℃/min速度進行升溫，升高到1300℃時保溫60min；
第四階段：溫度在1300℃-1500℃時，以1-2℃/min速度進行升溫；
第五階段：溫度在1500℃-1550℃時，以1-2℃/min速度進行升溫。升高到1550℃時保溫300min；
第六階段：溫度在1550℃-1400℃時，以1-2℃/min速度進行降溫。降溫到1400℃時保溫60min；
第七階段：溫度從1400℃-1500℃時，以1-2℃/min速度進行升溫。升溫到1500℃時保溫120min；
第八階段：溫度從1500℃降到1300℃時，以1-2℃/min速度降溫；
第九階段：溫度從1300℃降到1000℃時，以4℃/min速度降溫；
第十階段：溫度從1000℃自然降溫到室溫。
2.根據權利要求1所述的一種大尺寸藍寶石光學晶體的熱處理工藝，其特征在于，熱處理工件為超精密磨削或單面研磨拋光以及雙面研磨拋光的藍寶石晶塊。
3.根據權利要求1所述的一種大尺寸藍寶石光學晶體的熱處理工藝，其特征在于，熱處理過程包括退火階段和回火階段。
4.根據權利要求1所述的一種大尺寸藍寶石光學晶體的熱處理工藝，其特征在于，所述的熱處理氣氛為惰性氣體，優選氬氣。
5.根據權利要求1所述的一種大尺寸藍寶石光學晶體的熱處理工藝，其特征在于，第十段溫度降到1000℃以后繼續降溫過程是將降溫速度調到零，自然冷卻至室溫。
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