[發明專利]抗蝕劑用共聚物以及抗蝕劑用組合物在審
| 申請號： | 201810272754.0 | 申請日： | 2014-06-12 |
| 公開（公告）號： | CN108484822A | 公開（公告）日： | 2018-09-04 |
| 發明（設計）人： | 加藤圭輔;安田敦;安齋龍一;前田晉一 | 申請（專利權）人： | 三菱化學株式會社 |
| 主分類號： | C08F220/18 | 分類號： | C08F220/18;C08F220/28;C08F220/42;G03F7/023;G03F7/039 |
| 代理公司： | 上海華誠知識產權代理有限公司 31300 | 代理人： | 李曉 |
| 地址： | 日本國東京都千*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 抗蝕劑 共聚物 抗蝕劑圖案 干蝕刻 環烴基 丙烯酸酯衍生物 表面粗糙度 耐干蝕刻性 金剛烷環 內酯骨架 橋環結構 靈敏度 對基板 鍵合 氰基 掩膜 圖案 加工 | ||
【權利要求書】：
1.一種抗蝕劑用共聚物，其特征在于，具有：
下述式(4-1)表示的結構單元、
由下述結構單元m1以及下述結構單元m2組成的群組中選擇的一種以上的結構單元，和選自下述式(8-1)～式(8-10)表示的具有酸離去基團的結構單元；
式(4-1)中，R41表示氫原子或甲基；
R表示氫原子或甲基。
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