[發明專利]一種基片樣品架、掩模板及基片更換方法及蒸鍍設備

在審

• 申請號: 201810263233.9
• 申請日: 2018-03-28
• 公開（公告）號: CN108411249A
• 公開（公告）日: 2018-08-17
• 發明（設計）人: 廖良生;黃穩;武啟飛
• 申請（專利權）人: 江蘇集萃有機光電技術研究所有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/50;H01L51/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種基片樣品架、掩模板及基片更換方法及蒸鍍設備，屬于OLED真空蒸鍍裝備領域。本發明的目的是解決現有裝置設備復雜，工作效率低下的問題。本發明的基片樣品架包括支撐架和基片架，通過在支撐架上設置一組凸臺，使基片架下方可形成一用于掩模板架放入的操作空間，以便于快速更換掩模板。本發明還公開一種掩模板更換方法，首先將實際作業位置的掩模板架與基片架置于暫存位置；然后更換掩模板；最后將基片架與掩模板架重新對位并放置于實際作業位置。本發明還公開一種基片更換方法，首先將掩模板置于基片架上，再將基片從基片架上取出更換，再將掩模版與基片架重新對位，放置于作業位置。本發明可以應用于半導體器件的薄膜沉積等制程。

技術領域

本發明涉及OLED真空蒸鍍裝備領域，具體涉及一種基片樣品架、掩模板及基片更換方法及蒸鍍設備。

背景技術

有機發光二極管(OLED)技術，是一種可用于顯示及照明的固態發光技術，近年來得到了迅速發展，目前OLED面板主要通過真空蒸發鍍膜的方法制備。在高校和研究所等科研單位，很多科研人員在做OLED有機材料的蒸鍍研究，推動了中小型蒸鍍設備的發展，提高研發效率。基片在蒸鍍過程中需要更換掩模板，中小型設備的掩模板切換相對簡單，但在大中型蒸鍍設備中，掩模板更換通常需要機械手臂的配合，通過機械臂依次抓取存放在卡匣腔中的基片或掩模板，操作過程復雜。蒸鍍過程中要頻繁更換基片和掩模板，如何提高掩模板的更換效率，一直是亟待解決的問題。

發明內容

本發明針對現有技術中的上述問題，提供一種基片樣品架、掩模板及基片更換方法，以及應用該裝置的蒸鍍設備，可提高設備的工作效率。

本發明公開了一種基片樣品架，包括：支撐架、基片架，所述支撐架上設置有第一對位結構，所述基片架上設置有第二對位結構，所述第二對位結構可與所述第一對位結構相配合，可使所述基片架與所述支撐架對位；

所述支撐架上設置有凸臺，用于臨時放置所述基片架。

進一步地，基片架框體的拐角內側設置有缺口，避免取放基片時，造成基片的邊角處破損。

進一步地，所述第一對位結構在支撐架上的投影可為圓形、三角形、四邊形等任意幾何圖形。

進一步地，當所述第一對位結構在支撐架上的投影為三角形、四邊形等非圓形結構時，所述第一對位結構的數量可為一。

進一步地，所述凸臺可為非連續設置的不在同一直線上的一組凸起結構，如兩條平行設置的，在支撐架上投影為條狀的凸臺或多個圓臺。

進一步地，所述基片樣品架還包括一掩模板架；

所述基片架上設置有第三對位結構，所述掩模板架上設置有第四對位結構，所述第四對位結構與所述第三對位結構相配合，可使所述掩模板架與所述基片架對位。

進一步地，所述凸臺上還設置有第五對位結構，所述第五對位結構與所述基片架上的第一對位結構配合，防止基片架在臨時放置的凸臺上滑動而產生偏移。

進一步地，所述支撐架為一“匚”字形結構，所述“匚”字形結構的內側設置有與所述支撐架上表面平行的凹陷式臺階，使所述掩模板架可放置與所述臺階上，嵌入支撐架中。

優選地，所述限位臺階的高度H和掩模板架的厚度t的關系滿足：H≤t, 優選為H＝t。

進一步地，所述第一和第五對位結構為對位孔，所述第二對位結構為對位銷；或所述第一和第五對位結構為對位銷，所述第二對位結構為對位孔。

優選地，所述對位銷的上底面面積小于下底面面積，所述上底面為對位銷遠離其所在的架體的端面。

進一步地，所述對位銷頂部設置有倒角，便于基片架滑落，底部還設置有一定高度的圓柱體。