[發(fā)明專利]用于在光子集成電路中的應(yīng)用的MEMS傾斜反射鏡有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810246481.2 | 申請(qǐng)日： | 2018-03-23 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN108983369B | 公開（公告）日： | 2021-02-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 凱文·Y·亞蘇穆拉;利芬·維爾斯萊格斯;吉爾·D·貝格爾 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 谷歌有限責(zé)任公司 |
| 主分類號(hào)： | G02B6/42 | 分類號(hào)： | G02B6/42;G02B6/293;G02B6/12 |
| 代理公司： | 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219 | 代理人： | 周亞榮;安翔 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 光子 集成電路 中的 應(yīng)用 mems 傾斜 反射 | ||
1.一種集成光學(xué)組件，包括：
光學(xué)器件安裝部，其上設(shè)置有用于提供光束的光源和被配置為聚焦所述光束的透鏡；
光子集成電路PIC，其機(jī)械耦合到所述光學(xué)器件安裝部并且在其上設(shè)置有用于接收所述光束并將所述光束耦合到波導(dǎo)中的光柵耦合器；以及
微機(jī)電系統(tǒng)MEMS反射鏡，其被配置為接收來自所述透鏡的所述光束并將所述光束重定向到所述光柵耦合器，其中，所述MEMS反射鏡的反射部分的位置是可調(diào)整的，以影響所述光束在所述光柵耦合器上的入射角，其中，所述MEMS反射鏡可以圍繞兩個(gè)軸線旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成光學(xué)組件，其中，所述光柵耦合器包括硅。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成光學(xué)組件，其中，所述光學(xué)器件安裝部包括硅，并且在至少一個(gè)表面上具有抗反射涂層。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成光學(xué)組件，其中，所述光源是分布式反饋激光器。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的集成光學(xué)組件，進(jìn)一步包括：
光學(xué)隔離器，所述光學(xué)隔離器設(shè)置在所述光學(xué)器件安裝部上并且被配置為接收來自所述透鏡的所述光束，并且使所述光束沿著朝向所述MEMS反射鏡的第一方向傳遞，同時(shí)防止光沿與所述第一方向相反的第二方向穿過所述MEMS反射鏡。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成光學(xué)組件，進(jìn)一步包括：
設(shè)置在所述PIC上的監(jiān)控光電二極管，所述監(jiān)控光電二極管用于測量耦合到所述波導(dǎo)中的光的振幅。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成光學(xué)組件，其中，所述MEMS反射鏡可移動(dòng)以將從法線到所述光柵耦合器的光接收表面的入射角從0度調(diào)整至從法線起20度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成光學(xué)組件，其中，所述集成光學(xué)組件具有適合于包含在光學(xué)收發(fā)器裝置中的尺寸。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成光學(xué)組件，其中，所述MEMS反射鏡包括用于調(diào)整所述反射部分的所述位置的致動(dòng)器。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成光學(xué)組件，其中，所述MEMS反射鏡被配置為在所述集成光學(xué)組件的整個(gè)使用壽命期間連續(xù)或周期性地重新定位。
11.一種光通信系統(tǒng)，包括：
光學(xué)器件安裝部，其上設(shè)置有用于提供光束的光源和被配置為聚焦所述光束的透鏡；
光子集成電路PIC，其機(jī)械耦合到所述光學(xué)器件安裝部并且在其上設(shè)置有：
光柵耦合器，所述光柵耦合器用于接收所述光束并將所述光束耦合到波導(dǎo)中，
監(jiān)控光電二極管，所述監(jiān)控光電二極管用于測量耦合到所述波導(dǎo)中的光的振幅；
微機(jī)電系統(tǒng)MEMS反射鏡，所述MEMS反射鏡被配置為接收來自所述透鏡的所述光束并將其重定向到所述光柵耦合器，其中，所述MEMS反射鏡的反射部分的位置是可調(diào)整的，以影響在所述光柵耦合器上的所述光束的入射角，其中，所述MEMS反射鏡可以圍繞兩個(gè)軸線旋轉(zhuǎn)；以及
控制器，所述控制器被配置為接收對(duì)耦合到所述波導(dǎo)中的所述光的所述振幅的指示，并控制所述MEMS反射鏡的所述位置以增加對(duì)所述振幅的所述指示。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的光通信系統(tǒng)，其中，所述光柵耦合器包括硅。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的光通信系統(tǒng)，其中，所述光學(xué)器件安裝部包括硅，并且在至少一個(gè)表面上具有抗反射涂層。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的光通信系統(tǒng)，其中，所述光源是分布式反饋激光器。
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