[發(fā)明專利]三維量測器件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810244983.1
• 申請日: 2018-03-23
• 公開（公告）號: CN110296666B
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳延松
• 申請（專利權(quán)）人: 泓邦科技有限公司
• 主分類號: G01B11/16
• 分類號: G01B11/16
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 郭蔚

1.一種三維量測器件，其特征在于，包含：

光源；

分光器，所述分光器相對于水平方向傾斜第一角度；

反射器，所述反射器的表面對應(yīng)參考面，所述參考面相對于垂直方向傾斜第二角度；

傳感器，所述傳感器的表面對應(yīng)成像面，所述成像面相對于水平方向傾斜第三角度或與水平方向平行；

成像系統(tǒng)，所述成像系統(tǒng)位于所述分光器和所述傳感器之間；

其中，所述三維量測器件具有干涉量測面，所述干涉量測面相對于水平方向傾斜第四角度，

其中，于水平方向所述分光器在所述光源及所述參考面之間，且于垂直方向所述分光器在所述成像面及所述干涉量測面之間，

其中，所述分光器上的任意點到所述參考面的在水平方向的距離等于所述分光器上的所述點到所述干涉量測面的在垂直方向的距離，

其中，當(dāng)進(jìn)行量測時，所述三維量測器件往待測物照射的光平行于垂直方向。

2.一種三維量測器件，其特征在于，包含：

光源；

分光器，所述分光器相對于水平方向傾斜第一角度；

反射器，所述反射器的表面對應(yīng)參考面，所述參考面相對于垂直方向傾斜第二角度；

傳感器，所述傳感器的表面對應(yīng)成像面，所述成像面相對于水平方向傾斜第三角度；

成像系統(tǒng)，所述成像系統(tǒng)位于所述分光器和所述傳感器之間，

其中，所述三維量測器件具有干涉量測面，所述干涉量測面相對于水平方向傾斜第四角度，

其中，于水平方向所述分光器在所述光源及所述參考面之間，且于垂直方向所述分光器在所述成像面及所述干涉量測面之間，

其中，所述分光器上的任意點到所述參考面的在水平方向的距離等于所述分光器上的所述點到所述干涉量測面的在垂直方向的距離，

其中，當(dāng)進(jìn)行量測時，所述三維量測器件往待測物照射的光平行于垂直方向，

其中，所述第三角度與所述第四角度的設(shè)置使得所述成像面與物面符合沙姆定律(Scheimpflug Principle)且所述物面與所述干涉量測面一致。

3.一種三維量測器件，其特征在于，包含：

光源；

分光器，所述分光器相對于水平方向傾斜第一角度；

反射器，所述反射器的表面對應(yīng)參考面，所述參考面相對于垂直方向傾斜第二角度；

傳感器，所述傳感器的表面對應(yīng)成像面，所述成像面相對于水平方向傾斜第三角度；

成像系統(tǒng)，所述成像系統(tǒng)位于所述分光器和所述傳感器之間，

其中，所述三維量測器件具有干涉量測面，所述干涉量測面相對于水平方向傾斜第四角度，

其中，于水平方向所述分光器在所述光源及所述參考面之間，且于垂直方向所述分光器在所述成像面及所述干涉量測面之間，

其中，所述分光器上的任意點到所述參考面的在水平方向的距離等于所述分光器上的所述點到所述干涉量測面的在垂直方向的距離，

其中，當(dāng)進(jìn)行量測時，所述三維量測器件往待測物照射的光平行于垂直方向，

其中，所述反射器的表面使得從所述光源發(fā)出且穿透所述分光器的光在照射所述反射器時能有部分反射光平行于從所述光源發(fā)出且穿透所述分光器的所述光。

4.如權(quán)利要求1至3中的任一項的三維量測器件，其特征在于，

當(dāng)進(jìn)行量測時，若所述待測物的表面的高度與所述干涉量測面一致，所述傳感器測得最大干涉強度。

5.如權(quán)利要求1至3中的任一項的三維量測器件，其特征在于，

所述傳感器是面?zhèn)鞲衅鳎雒鎮(zhèn)鞲衅靼袼財?shù)組，

其中，所述干涉量測面包含對應(yīng)所述像素數(shù)組的對應(yīng)列的多個量測線，所述量測線的高度是由所述像素數(shù)組的所述對應(yīng)列的位置與所述第四角度來定義；

其中，當(dāng)進(jìn)行量測時，若所述待測物的表面的高度與所述量測線一致，所述傳感器的所述像素數(shù)組中的對應(yīng)的像素測得最大干涉強度。

6.如權(quán)利要求1至3中的任一項的三維量測器件，其特征在于，

所述反射器及所述傳感器可轉(zhuǎn)動，使得所述第二角度及所述第三角度可依所述第四角度的需求而調(diào)整。