[發(fā)明專(zhuān)利]一種氮元素注入方法及其改性刀具、模具

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810240630.4
• 申請(qǐng)日: 2018-03-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108385074A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-08-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王世興;蘇紅;黃建軍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/48
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/48
• 代理公司: 深圳市精英專(zhuān)利事務(wù)所 44242
• 代理人: 林燕云

1.一種氮元素注入方法，應(yīng)用于離子注入設(shè)備，所述離子注入設(shè)備包括金屬離子源、真空室和位于所述真空室內(nèi)的試樣架，其特征在于，包括：

將金屬樣品放在所述試樣架上，以及將預(yù)設(shè)金屬靶材安裝在所述金屬離子源上；

將所述真空室抽真空至第一預(yù)設(shè)真空度；

預(yù)熱所述金屬離子源；

向所述真空室通入氮?dú)庖哉{(diào)節(jié)所述真空室的真空度至第二預(yù)設(shè)真空度；

設(shè)置金屬離子注入?yún)?shù)并啟動(dòng)所述離子注入設(shè)備以借助所述金屬離子源產(chǎn)生的金屬離子將所述氮?dú)庵械牡財(cái)y帶共注入至所述金屬樣品。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮元素注入方法，其特征在于，在所述將金屬樣品放在所述試樣架上之前，還包括：

使用無(wú)水乙醇對(duì)所述金屬樣品進(jìn)行超聲清洗，并將清洗后的金屬樣品吹干處理。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮元素注入方法，其特征在于，在所述設(shè)置金屬離子注入?yún)?shù)并啟動(dòng)所述離子注入設(shè)備以借助所述金屬離子源產(chǎn)生的金屬離子將所述氮?dú)庵械牡財(cái)y帶共注入至所述金屬樣品之后，還包括：

將所述真空室抽真空至第三預(yù)設(shè)真空度；

待所述真空室的溫度降至室溫時(shí)，向所述真空室通入空氣以使得所述真空室的真空度為標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮元素注入方法，其特征在于，所述金屬樣品包括黑色金屬、有色金屬和硬質(zhì)合金。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氮元素注入方法，其特征在于，所述硬質(zhì)合金包括碳化鎢基硬質(zhì)合金、碳化鈦基硬質(zhì)合金、涂層硬質(zhì)合金或鋼基硬質(zhì)合金。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮元素注入方法，其特征在于，所述第一預(yù)設(shè)真空度為1.0×10^-2Pa至2.0×10^-2Pa，所述第二預(yù)設(shè)真空度為1×10^-1Pa。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮元素注入方法，其特征在于，所述金屬離子注入?yún)?shù)包括引出電壓、抑制電壓、電弧電壓和引出束流；所述引出電壓、抑制電壓、電弧電壓和引出束流分別為42kv、2.1kv、65v和5.5mA。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮元素注入方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)金屬靶材包括鈦金屬靶材、鉻金屬靶材、釔金屬靶材或鉭金屬靶材。

9.一種改性刀具，其特征在于，包括刀具本體，所述刀具本體包括工作區(qū)，所述工作區(qū)為通過(guò)權(quán)利要求1至8所述的任意一種氮元素注入方法制作而成的金屬樣品。

10.一種改性模具，其特征在于，包括模座和設(shè)置在所述模座上的模具本體，所述模具本體上設(shè)有模型槽，所述模型槽的內(nèi)表面為通過(guò)權(quán)利要求1至8所述的任意一種氮元素注入方法制作而成的金屬樣品。