[發明專利]加工方法

在審

• 申請號: 201810239578.0
• 申請日: 2018-03-22
• 公開（公告）號: CN108695145A
• 公開（公告）日: 2018-10-23
• 發明（設計）人: 竹之內研二
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: H01L21/304
• 分類號: H01L21/304;H01L21/78
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 龐東成;褚瑤楊

1.一種加工方法，該加工方法對板狀的被加工物進行加工，該板狀的被加工物在表面側具有與切斷預定線重疊地形成的包含金屬的層疊體，該加工方法的特征在于，

該加工方法具備下述步驟：

保持步驟，利用保持工作臺對被加工物的表面側進行保持；

激光加工步驟，在實施該保持步驟后，在被加工物的背面沿著該切斷預定線照射相對于被加工物具有吸收性的波長的激光束，形成未到達該層疊體的激光加工槽；和

切削步驟，在實施該激光加工步驟后，利用切削刀具對該激光加工槽的底部進行切削，將被加工物與該層疊體一起沿著該切斷預定線切斷，

在該切削步驟中，一邊對被加工物供給包含有機酸和氧化劑的切削液，一邊執行切削。

2.如權利要求1所述的加工方法，其特征在于，

該加工方法進一步具備保護部件配設步驟，在實施該切削步驟之前，在被加工物的該表面配設保護部件，

該切削步驟在隔著該保護部件對被加工物的該表面側進行保持的狀態下實施。

3.如權利要求2所述的加工方法，其特征在于，

在該切削步驟中，使用厚度比該激光加工槽的寬度薄的該切削刀具。

4.如權利要求1所述的加工方法，其特征在于，

該加工方法進一步具備保護部件配設步驟，在實施該激光加工步驟之后且在實施該切削步驟之前，在被加工物的該背面配設保護部件，

該切削步驟在隔著該保護部件對被加工物的該背面側進行保持的狀態下實施。