[發(fā)明專利]分離裝置及分離方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810238947.4
• 申請日: 2018-03-22
• 公開（公告）號: CN108878281A
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杉下芳昭
• 申請（專利權(quán)）人: 琳得科株式會社
• 主分類號: H01L21/304
• 分類號: H01L21/304;H01L21/67
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 岳雪蘭

1.一種分離裝置，其特征在于，具備：

多個(gè)保持單元，其由保持部件保持粘接片的端部，該粘接片在一面和另一面的至少一方粘附有多個(gè)被粘物或經(jīng)分割而成為多個(gè)的被粘物；

分離單元，其使保持著所述粘接片的端部的所述保持單元相對移動，對所述粘接片賦予張力而擴(kuò)大所述被粘物的相互間隔；

所述粘接片的粘接力通過向所述粘接片賦予規(guī)定的能量而下降，

具備能量賦予單元，該能量賦予單元對所述粘接片賦予所述規(guī)定的能量，

所述保持部件構(gòu)成為，由與所述粘接片的一面?zhèn)鹊纸拥囊粋?cè)保持部件、及與所述粘接片的另一面?zhèn)鹊纸拥牧硪粋?cè)保持部件夾入并保持所述粘接片的端部，

所述能量賦予單元在由所述保持部件夾入前，對由所述一側(cè)保持部件及另一側(cè)保持部件夾入的所述粘接片的被保持區(qū)域賦予所述規(guī)定的能量。

2.一種分離裝置，其特征在于，具備：

保持單元，其由保持部件保持粘接片的端部，該粘接片在一面和另一面的至少一方粘附有多個(gè)被粘物或經(jīng)分割而成為多個(gè)的被粘物；

抵接單元，其在所述粘接片的比粘附有所述多個(gè)被粘物的被粘物粘接區(qū)域靠外側(cè)、且在所述保持單元所保持的被保持區(qū)域的內(nèi)側(cè)，與該粘接片抵接；

分離單元，其使保持著所述粘接片的端部的所述保持單元及所述抵接單元相對移動，對所述粘接片賦予張力而擴(kuò)大所述被粘物的相互間隔；

所述粘接片的粘接力通過向所述粘接片賦予規(guī)定的能量而下降，

具備能量賦予單元，該能量賦予單元對所述粘接片賦予所述規(guī)定的能量，

所述保持部件構(gòu)成為，由與所述粘接片的一面?zhèn)鹊纸拥囊粋?cè)保持部件、及與所述粘接片的另一面?zhèn)鹊纸拥牧硪粋?cè)保持部件夾入并保持所述粘接片的端部，

所述能量賦予單元在由所述保持部件夾入前，對由所述一側(cè)保持部件及另一側(cè)保持部件夾入的所述粘接片的被保持區(qū)域賦予所述規(guī)定的能量。

3.如權(quán)利要求1或2所述的分離裝置，其特征在于，

所述能量賦予單元具備第一能量賦予單元和第二能量賦予單元，所述第一能量賦予單元對所述粘接片的粘附有所述多個(gè)被粘物的被粘物粘接區(qū)域賦予所述規(guī)定的能量，所述第二能量賦予單元對由所述保持部件保持的所述粘接片的被保持區(qū)域賦予所述規(guī)定的能量。

4.一種分離方法，其特征在于，具有：

保持工序，其由多個(gè)保持單元各自的保持部件保持粘接片的端部，該粘接片在一面和另一面的至少一方粘附有多個(gè)被粘物或經(jīng)分割而成為多個(gè)的被粘物；

分離工序，其使保持著所述粘接片的端部的所述保持單元相對移動，對所述粘接片賦予張力而擴(kuò)大所述被粘物的相互間隔；

所述粘接片的粘接力通過向所述粘接片賦予規(guī)定的能量而下降，

具有能量賦予工序，該能量賦予工序?qū)λ稣辰悠x予所述規(guī)定的能量，

所述保持部件構(gòu)成為，由與所述粘接片的一面?zhèn)鹊纸拥囊粋?cè)保持部件、及與所述粘接片的另一面?zhèn)鹊纸拥牧硪粋?cè)保持部件夾入并保持所述粘接片的端部，

在所述能量賦予工序中，在由所述保持部件夾入前，對由所述一側(cè)保持部件及另一側(cè)保持部件夾入的所述粘接片的被保持區(qū)域賦予所述規(guī)定的能量。

5.一種分離方法，其特征在于，具有：

保持工序，其由多個(gè)保持單元各自的保持部件保持粘接片的端部，該粘接片在一面和另一面的至少一方粘附有多個(gè)被粘物或經(jīng)分割而成為多個(gè)的被粘物；

分離工序，其使抵接單元、以及保持著所述粘接片的端部的所述保持單元相對移動，對所述粘接片賦予張力而擴(kuò)大所述被粘物的相互間隔，其中，所述抵接單元在所述粘接片的比粘附有所述多個(gè)被粘物的被粘物粘接區(qū)域靠外側(cè)、且在所述保持單元所保持的被保持區(qū)域的內(nèi)側(cè)，與該粘接片抵接；

所述粘接片的粘接力通過向所述粘接片賦予規(guī)定的能量而下降，

具有能量賦予工序，該能量賦予工序?qū)λ稣辰悠x予所述規(guī)定的能量，

所述保持部件構(gòu)成為，由與所述粘接片的一面?zhèn)鹊纸拥囊粋?cè)保持部件、及與所述粘接片的另一面?zhèn)鹊纸拥牧硪粋?cè)保持部件夾入并保持所述粘接片的端部，

在所述能量賦予工序中，在由所述保持部件夾入前，對由所述一側(cè)保持部件及另一側(cè)保持部件夾入的所述粘接片的被保持區(qū)域賦予所述規(guī)定的能量。