[發(fā)明專利]一種組合節(jié)流閥

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810209980.4
• 申請(qǐng)日: 2018-03-14
• 公開（公告）號(hào): CN108253147A
• 公開（公告）日: 2018-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉忠林;畢凱
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 嘉興岱源真空科技有限公司
• 主分類號(hào): F16K3/02
• 分類號(hào): F16K3/02;F16K3/03;F16K27/04;F16K31/04;F16K31/53
• 代理公司: 北京中政聯(lián)科專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11489
• 代理人: 姚海波

一種組合節(jié)流閥，包括插板閥及旋轉(zhuǎn)葉片閥，所述插板閥具有閥板及用于驅(qū)動(dòng)閥板移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置，所述旋轉(zhuǎn)葉片閥包括電機(jī)、蝸桿、齒輪環(huán)、若干葉片及若干小齒輪，當(dāng)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)閥板移動(dòng)至第二狀態(tài)時(shí)，電機(jī)驅(qū)動(dòng)蝸桿轉(zhuǎn)動(dòng)，蝸桿帶動(dòng)齒輪環(huán)旋轉(zhuǎn)，從而帶動(dòng)若干小齒輪對(duì)應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使得葉片的大頭端遠(yuǎn)離或靠近流體管道的中心方向移動(dòng)，如此可以調(diào)節(jié)流體管道中心的開口大小，從而調(diào)節(jié)流體管道的流體流量，適應(yīng)不同工況需要。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及納米材料制作領(lǐng)域，特別是一種組合節(jié)流閥。

背景技術(shù)

濺射法制作納米材料的方式有：磁控濺射、偏壓濺射及反應(yīng)濺射等。其中磁控濺射的原理為：電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發(fā)生碰撞，電離出大量的氬離子和電子，電子飛向基片。氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材，濺射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子沉積在基片上成膜。二次電子在加速飛向基片的過程中受到磁場洛侖磁力的影響，被束縛在靠近靶面的等離子體區(qū)域內(nèi)，該區(qū)域內(nèi)等離子體密度很高，二次電子在磁場的作用下圍繞靶面作圓周運(yùn)動(dòng)。

在納米材料的制作過程中，需要供給氬氣及散熱液等。氬氣或散熱液在管道中的通斷由節(jié)流閥控制。現(xiàn)有的節(jié)流閥一般采用插板閥，只能在全開和全閉兩個(gè)狀態(tài)切換，不能夠調(diào)節(jié)氬氣或散熱液的流量大小。而不同的工況需要不同流量的氬氣或散熱液，現(xiàn)有技術(shù)中，在不同的工況下需使用不同的納米材料制作設(shè)備，不同的納米材料制作設(shè)備具有不同規(guī)格的流體管道及插板閥。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明提供了一種可調(diào)流量、適應(yīng)于不同工況的可調(diào)流量的組合節(jié)流閥，以解決上述問題。

一種組合節(jié)流閥，用于調(diào)節(jié)流體管道內(nèi)的流體流量，包括插板閥及旋轉(zhuǎn)葉片閥，所述插板閥與旋轉(zhuǎn)葉片閥平行間隔設(shè)置且均至少部分地垂直位于流體管道中，所述插板閥具有閥板及用于驅(qū)動(dòng)閥板移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置，所述閥板具有完全位于流體管道內(nèi)的第一狀態(tài)及完全打開流體管道的第二狀態(tài)，所述旋轉(zhuǎn)葉片閥包括電機(jī)、蝸桿、齒輪環(huán)、若干葉片及若干小齒輪，所述齒輪環(huán)的外周面上設(shè)有渦輪，內(nèi)周面上設(shè)有齒槽，所述蝸桿與電機(jī)的輸出軸連接，且與齒輪環(huán)的渦輪嚙合，所述小齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于流體管道上，所述小齒輪與齒輪環(huán)的齒槽嚙合，所述葉片具有大頭端及小頭端，小頭端與小齒輪連接，大頭端為自由端。

進(jìn)一步地，所述流體管道具有外管及內(nèi)管，內(nèi)管中空形成流體通道，所述小齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于流體管道的內(nèi)管上，所述外管從外側(cè)包覆齒輪環(huán)。

進(jìn)一步地，所述小齒輪通過固定板與流體管道連接，所述小齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)連接于固定板上，所述固定板與流體管道或者流體管道的內(nèi)管連接。

進(jìn)一步地，所述齒輪環(huán)、小齒輪或葉片中任意一個(gè)或多個(gè)的最大轉(zhuǎn)動(dòng)角度為50-70度。

進(jìn)一步地，所述齒輪環(huán)、小齒輪或葉片中任意一個(gè)或多個(gè)的最大轉(zhuǎn)動(dòng)角度為62度。

進(jìn)一步地，所述齒輪環(huán)的一個(gè)側(cè)面開設(shè)有環(huán)形的第一凹槽，若干旋轉(zhuǎn)軸承位于該凹槽中，所述齒輪環(huán)通過凹槽與旋轉(zhuǎn)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述旋轉(zhuǎn)軸承通過固定軸與流體管道連接。

進(jìn)一步地，所述第一凹槽的底部還開設(shè)有與第一凹槽垂直的第二凹槽，第二凹槽的寬度大于第一凹槽的寬度，所述旋轉(zhuǎn)軸承位于第二凹槽中，且旋轉(zhuǎn)軸承的直徑大于第一凹槽的寬度。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的組合節(jié)流閥包括插板閥及旋轉(zhuǎn)葉片閥，所述插板閥具有閥板及用于驅(qū)動(dòng)閥板移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置，所述旋轉(zhuǎn)葉片閥包括電機(jī)、蝸桿、齒輪環(huán)、若干葉片及若干小齒輪，當(dāng)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)閥板移動(dòng)至第二狀態(tài)時(shí)，電機(jī)驅(qū)動(dòng)蝸桿轉(zhuǎn)動(dòng)，蝸桿帶動(dòng)齒輪環(huán)旋轉(zhuǎn)，從而帶動(dòng)若干小齒輪對(duì)應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使得葉片的大頭端遠(yuǎn)離或靠近流體管道的中心方向移動(dòng)，如此可以調(diào)節(jié)流體管道中心的開口大小，從而調(diào)節(jié)流體管道的流體流量，適應(yīng)不同工況需要。

附圖說明

以下結(jié)合附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例，其中：

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的組合節(jié)流閥的側(cè)面剖視圖。