[發(fā)明專利]一種基于二級對稱式柔性鉸鏈放大機(jī)構(gòu)的壓電疊堆微泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810196210.0
• 申請日: 2018-03-09
• 公開（公告）號: CN108180135B
• 公開（公告）日: 2023-09-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 唐剛;黃亮;徐斌;謝高楊;程芳;胡敏
• 申請（專利權(quán)）人: 南昌工程學(xué)院
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04;F04B53/00
• 代理公司: 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種基于二級對稱式柔性鉸鏈放大機(jī)構(gòu)的壓電疊堆微泵，其特征在于：包括單向出口閥（1）、單向入口閥（2）、閥蓋（3）、泵腔（4）、密封圈（5）、振動薄膜（6）、上平板（7）、放大機(jī)構(gòu)（8）、壓電疊堆（9）、壓電疊堆電極（10）、支架（11）和下平板（12）；所述壓電疊堆（9）嵌于所述下平板（12）的中心部分，所述壓電疊堆（9）上端與所述放大機(jī)構(gòu)（8）下端接觸，所述壓電疊堆電極（10）通入外接電源；所述支架（11）分別與所述上平板（7）和所述下平板（12）連接，所述支架（11）與所述上平板（7）和所述下平板（12）的中心線在同一軸線上；所述放大機(jī)構(gòu)（8）位于所述支架（11）內(nèi)部中心處對稱分布，并通過底端兩角與所述支架（11）銷釘連接，所述放大機(jī)構(gòu)（8）與所述壓電疊堆（9）的中心線在同一軸線上，所述放大機(jī)構(gòu)（8）頂端與所述振動薄膜（6）相接觸；所述振動薄膜（6）位于所述閥蓋（3）和所述上平板（7）的銜接處，固定于所述閥蓋（3）的卡槽內(nèi)，所述振動薄膜（6）上端與所述閥蓋（3）之間形成所述泵腔（4）；所述振動薄膜（6）正下方的所述上平板（7）加工出緩沖腔道（13），并在所述緩沖腔道（13）內(nèi)置若干橡膠質(zhì)地的彈性球（14）；所述閥蓋（3）下端內(nèi)部嵌有所述密封圈（5），所述上平板（7）上的所述閥蓋（3）四周均勻分布設(shè)有四個螺絲釘，所述閥蓋（3）上面設(shè)有所述單向出口閥（1）和所述單向入口閥（2），所述單向出口閥（1）和所述單向入口閥（2）對稱分布在所述閥蓋（3）的中心軸線兩側(cè)，采用輪式結(jié)構(gòu)，

所述彈性球（14）在所述緩沖腔道（13）內(nèi)的填充高度大于所述緩沖腔道（13）的高度1-2mm，

所述單向出口閥（1）和所述單向入口閥（2）均采用輪式閥作為截止閥，所述振動薄膜（6）采用納米硅無機(jī)聚合物覆膜，

所述壓電疊堆（9）由若干偏鈮酸鹽系壓電陶瓷片電學(xué)并聯(lián)或者串聯(lián)連接制成，

所述納米硅無機(jī)聚合物覆膜的厚度為7-9μm，在所述納米硅無機(jī)聚合物覆膜上振動鉆削加工出φ0.1mm小孔，

所述壓電陶瓷片包括壓電陶瓷晶體膜片，所述壓電陶瓷晶體膜片一面粘結(jié)金屬基片，另一面設(shè)有1-2mm的耐腐蝕層，

所述金屬基片的空白面和邊沿設(shè)有絕緣層。