[發(fā)明專利]一種沖孔針頭表面多弧離子鍍摻雜鈦的類金剛石膜的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810192711.1
• 申請日: 2018-03-09
• 公開（公告）號: CN108330445B
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 于翔;王彩萍;張?jiān)戮?/a>
• 申請（專利權(quán)）人: 中國地質(zhì)大學(xué)（北京）
• 主分類號: C23C14/06
• 分類號: C23C14/06;C23C14/32
• 代理公司: 北京中譽(yù)威圣知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11279
• 代理人: 蔣常雪

1.一種沖孔針頭表面多弧離子鍍摻雜鈦的類金剛石膜的方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

(1)采用水磨砂紙對沖孔針頭基體試樣表面進(jìn)行逐級打磨，并用Al₂O₃粉拋光至鏡面狀態(tài)，直至基體表面無明顯劃痕；

(2)將沖孔針頭基體試樣放入超聲波清洗機(jī)中，依次在石油醚和無水乙醇中進(jìn)行超聲清洗，烘干后放入多弧真空離子鍍膜機(jī)的真空室中待沉積；

(3)開啟多弧真空離子鍍膜機(jī)，多弧真空離子鍍膜機(jī)所選用的靶材為鈦靶，抽真空，加熱，充入氬氣，控制氬氣的流量，維持氣壓的穩(wěn)定，開啟偏壓轟擊，進(jìn)行輝光清洗，直到偏壓表指針穩(wěn)定；

(4)進(jìn)行弧光清洗，維持偏壓，調(diào)整鈦靶電流；

(5)調(diào)整偏壓，通入C₂H₂，在沖孔針頭基體試樣上鍍含合金元素的類金剛石膜；

其中：

步驟(1)中，依次采用240#、320#、600#、800#、1000#、2000#的水磨砂紙對沖孔針頭基體試樣表面進(jìn)行逐級打磨；

步驟(2)中，分別在石油醚和無水乙醇中超聲清洗30min，石油醚和無水乙醇均為分析純，超聲波清洗機(jī)的功率為500W；

步驟(3)中，抽真空至5×10^-3Pa，經(jīng)過50-80min后，加熱至200℃，充入99.99％的高純氬氣，氬氣流量控制由80sccm逐漸遞減到50sccm，氣壓最后維持在5×10^-2Pa；進(jìn)行輝光清洗時，占空比調(diào)為60％，偏壓從-400V逐漸增加到-600V，清洗時間為5-8min，直到偏壓表指針穩(wěn)定；

步驟(4)中，偏壓維持在-400V到-500V之間，調(diào)整鈦靶電流為115A，清洗時間為4min；

步驟(5)中，

調(diào)整偏壓為-250V，C₂H₂的流量控制為300sccm，鍍含合金元素的類金剛石膜的時間為45min；

所述的合金元素為Ti。