[發(fā)明專(zhuān)利]納米間隙原位活化的復(fù)合陽(yáng)極鍵合方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810183325.6
• 申請(qǐng)日: 2018-03-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108383080B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘明強(qiáng);孫立寧
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): B81C3/00
• 分類(lèi)號(hào): B81C3/00
• 代理公司: 蘇州謹(jǐn)和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32295
• 代理人: 葉棟

1.一種納米間隙原位活化的復(fù)合陽(yáng)極鍵合方法，包括放電活化工序以及陽(yáng)極鍵合工序，其特征在于：所述放電活化工序?yàn)榻橘|(zhì)阻擋等離子體放電界面活化工序，所述介質(zhì)阻擋等離子體放電界面活化工序與陽(yáng)極鍵合工序集成在同一工位上，所述復(fù)合陽(yáng)極鍵合方法的具體步驟包括：

S1、設(shè)置復(fù)合陽(yáng)極鍵合參數(shù)，所述復(fù)合陽(yáng)極鍵合參數(shù)包括鍵合溫度、鍵合壓力，鍵合電壓、鍵合時(shí)間，介質(zhì)阻擋放電電壓、介質(zhì)阻擋放電時(shí)間、介質(zhì)阻擋放電頻率；

S2、將硅片和玻璃片相互貼合疊放在工作臺(tái)上，在被鍵合界面形成納米間隙，同時(shí)對(duì)所述被鍵合的界面施加所述鍵合壓力，并將所述工作臺(tái)加熱至所述鍵合溫度；

S3、施加所述介質(zhì)阻擋放電電壓、介質(zhì)阻擋放電時(shí)間、以及介質(zhì)阻擋放電頻率參數(shù)，完成對(duì)所述被鍵合界面的放電活化工序；

S4、施加所述鍵合電壓、鍵合時(shí)間參數(shù)，完成對(duì)所述被鍵合界面的陽(yáng)極鍵合工序。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合陽(yáng)極鍵合方法，其特征在于，所述鍵合溫度的范圍為150-350℃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合陽(yáng)極鍵合方法，其特征在于，所述鍵合壓力的范圍為0.1-50g/mm²。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合陽(yáng)極鍵合方法，其特征在于，所述鍵合電壓的范圍為DC900-1200V；所述鍵合時(shí)間的范圍為50-2000s。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合陽(yáng)極鍵合方法，其特征在于，所述介質(zhì)阻擋放電電壓的范圍為AC100-2000V；所述介質(zhì)阻擋放電頻率的范圍為5-100KHz；所述介質(zhì)阻擋放電時(shí)間的范圍為0.1-500s。

6.一種復(fù)合陽(yáng)極鍵合裝置，用于權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的復(fù)合陽(yáng)極鍵合方法，其特征在于，包括介質(zhì)阻擋放電電源、鍵合電源、電極、以及電源切換控制機(jī)構(gòu)，所述介質(zhì)阻擋放電電源與鍵合電源分別通過(guò)所述電源切換控制機(jī)構(gòu)與所述電極相連。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的復(fù)合陽(yáng)極鍵合裝置，其特征在于，所述電極由上電極與下電極構(gòu)成，所述上電極通過(guò)所述電源切換控制機(jī)構(gòu)與所述介質(zhì)阻擋放電電源或鍵合電源的陰極相連，所述下電極通過(guò)所述電源切換控制機(jī)構(gòu)與所述介質(zhì)阻擋放電電源或鍵合電源的陽(yáng)極相連。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的復(fù)合陽(yáng)極鍵合裝置，其特征在于，所述介質(zhì)阻擋放電電源上設(shè)有介質(zhì)阻擋放電參數(shù)控制系統(tǒng)，用以控制所述介質(zhì)阻擋放電電壓、介質(zhì)阻擋放電時(shí)間、介質(zhì)阻擋放電頻率。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的復(fù)合陽(yáng)極鍵合裝置，其特征在于，所述鍵合電源上設(shè)有鍵合參數(shù)控制系統(tǒng)，用以控制所述鍵合電壓、鍵合時(shí)間。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的復(fù)合陽(yáng)極鍵合裝置，其特征在于，所述復(fù)合陽(yáng)極鍵合裝置還包括鍵合溫度與鍵合壓力控制系統(tǒng)，所述鍵合溫度與鍵合壓力控制系統(tǒng)設(shè)置在所述工作臺(tái)上，由鍵合溫度控制器與鍵合壓力控制器構(gòu)成，用以控制所述鍵合壓力與鍵合溫度。