[發明專利]一種光學準直擴束系統

在審

• 申請號: 201810183042.1
• 申請日: 2018-03-06
• 公開（公告）號: CN108415171A
• 公開（公告）日: 2018-08-17
• 發明（設計）人: 范真節;邢廷文;林嫵媚;李聲;廖志杰
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: G02B27/09
• 分類號: G02B27/09;G02B27/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光學準直擴束系統，其特征在于：所述的光學準直擴束系統由第一球面鏡(2)、第一柱面鏡(3)和第二柱面鏡(4)、第二球面鏡(5)、第三柱面鏡(6)和第四柱面鏡(7)構成；第一球面鏡(2)與第一柱面鏡(3)和第二柱面鏡(4)組成第一組準直擴束器，對激光器(1)發射的激光光束進行擴束；再進行激光傳輸，第二球面鏡(5)與第三柱面鏡(6)和第四柱面鏡(7)組成第二組準直擴束器，對傳輸的激光光束進行準直，保障光束口徑和發散角滿足使用需求，最終投射到衍射元件(8)上。

2.根據權利要求1所述的光學準直擴束系統，其特征在于：第一球面鏡(2)光焦度為負，第二球面鏡(5)光焦度為正，第一柱面鏡(3)和第二柱面鏡(4)光焦度為正，第三柱面鏡(6)和第四柱面鏡(7)光焦度為負。

3.根據權利要求1所述的光學準直擴束系統，其特征在于：激光傳輸距離d45可調節范圍為5米～20米。

4.根據權利要求1所述的光學準直擴束系統，其特征在于：該光學準直擴束系統使用激光器(1)波長為193納米，輸入參數如下(mm指毫米，mrad指毫弧度)：

●y方向光束尺寸15.4mm，y方向光束發散角4.3mrad；

●x方向光束尺寸14.6mm，x方向光束發散角1.6mrad。