[發(fā)明專(zhuān)利]基板修補(bǔ)裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810180229.6
• 申請(qǐng)日: 2018-03-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108570661A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 清水秀教
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社V技術(shù)
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/455
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/455;C23C16/48;G02F1/13;H01L27/32;H01L51/00
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 玉昌峰;吳孟秋

1.一種基板修補(bǔ)裝置，具備：主體部；工作部，設(shè)置為相對(duì)于所述主體部能夠移動(dòng)；以及修補(bǔ)處理部，設(shè)置于所述工作部，所述基板修補(bǔ)裝置通過(guò)所述修補(bǔ)處理部并使用處理用氣體對(duì)修補(bǔ)用基板的表面的缺陷進(jìn)行修補(bǔ)，其特征在于，

所述工作部具備：工作部側(cè)罐，儲(chǔ)存處理用氣體并向所述修補(bǔ)處理部供給所述處理用氣體；以及工作部側(cè)接頭，能夠向所述工作部側(cè)罐導(dǎo)入處理用氣體，

在不干擾所述主體部和所述工作部的位置固定有通過(guò)管道與供給用罐連接的供給用罐側(cè)接頭，

所述工作部側(cè)接頭能夠與所述供給用罐側(cè)接頭結(jié)合或解除結(jié)合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板修補(bǔ)裝置，其特征在于，

通過(guò)使所述工作部朝向所述供給用罐側(cè)接頭移動(dòng)，所述工作部側(cè)接頭與所述供給用罐側(cè)接頭結(jié)合，

通過(guò)使所述工作部朝向遠(yuǎn)離所述供給用罐側(cè)接頭的方向移動(dòng)，

所述工作部側(cè)接頭與所述供給用罐側(cè)接頭解除結(jié)合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板修補(bǔ)裝置，其特征在于，

所述工作部根據(jù)所述工作部側(cè)罐的殘留氣體量，進(jìn)行使所述工作部側(cè)接頭與所述供給用罐側(cè)接頭結(jié)合的動(dòng)作。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板修補(bǔ)裝置，其特征在于，

所述主體部是龍門(mén)式工作臺(tái)，所述龍門(mén)式工作臺(tái)具備供配置所述修補(bǔ)用基板的修補(bǔ)用基板配置臺(tái)，且能夠使所述工作部沿所述修補(bǔ)用基板配置臺(tái)的X-Y軸方向移動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板修補(bǔ)裝置，其特征在于，

在所述管道中設(shè)有開(kāi)閉閥，

所述工作部側(cè)接頭內(nèi)置有自動(dòng)開(kāi)閉閥，當(dāng)所述工作部側(cè)接頭與所述供給用罐側(cè)接頭的結(jié)合被解除時(shí)，所述自動(dòng)開(kāi)閉閥關(guān)閉內(nèi)部流路。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板修補(bǔ)裝置，其特征在于，

所述基板修補(bǔ)裝置還具備控制部，

所述控制部進(jìn)行如下控制：

根據(jù)所述工作部側(cè)罐的殘留氣體量的信息，驅(qū)動(dòng)控制所述主體部及所述工作部而使所述工作部側(cè)接頭與所述供給用罐側(cè)接頭結(jié)合，并且在解除所述工作部側(cè)接頭與所述供給用罐側(cè)接頭的結(jié)合時(shí)，關(guān)閉所述開(kāi)閉閥。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的基板修補(bǔ)裝置，其特征在于，

所述修補(bǔ)處理部對(duì)所述修補(bǔ)用基板的表面進(jìn)行成膜處理，

所述處理用氣體為用于成膜的原料氣體。