[發(fā)明專利]觸控面板的直接圖案化方法及其觸控面板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810175902.7
• 申請日: 2018-03-02
• 公開（公告）號: CN110221731B
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發(fā)明（設計）人: 李昭松;紀賀勛;方芳;黃振潘;余建賢;陳志民;吳珊瑀
• 申請（專利權）人: 宸鴻光電科技股份有限公司
• 主分類號: G06F3/042
• 分類號: G06F3/042
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 王玉雙;李巖

一種觸控面板的直接圖案化方法及其觸控面板，直接圖案化方法包括：提供基板，具有顯示區(qū)與周邊區(qū)，周邊線路具有接合墊；設置金屬納米線層；設置半固化膜層；設置負型感光層；進行黃光微影，包括：將負型感光層進行曝光以定義去除區(qū)與保留區(qū)；以及使用顯影液將位于去除區(qū)的負型感光層、膜層與金屬納米線層去除，以制作出設置于顯示區(qū)的觸控感應電極并裸露出接合墊，觸控感應電極電性連接于周邊線路，其中觸控感應電極是由膜層與金屬納米線層所組成；其中在該保留區(qū)中，負型感光層覆蓋于膜層與該金屬納米線層之上；以及固化膜層。

技術領域

本發(fā)明是關于一種觸控面板的直接圖案化方法及其觸控面板。

背景技術

由于透明導體可同時具有光穿透性與適當?shù)膶щ娦裕蚨糜谠S多顯示或觸控相關的裝置中。一般而言，透明導體可以是各種金屬氧化物，例如氧化銦錫(IndiumTinOxide，ITO)、氧化銦鋅(Indium Zinc Oxide，IZO)、氧化鎘錫(Cadmium Tin Oxide，CTO)或摻鋁氧化鋅(Aluminum-doped Zinc Oxide，AZO)。金屬氧化物薄膜可通過物理氣象沉積法或化學氣象沉積法而形成，并通過雷射工藝而形成適當圖案。然而，這些金屬氧化物薄膜的制作方法可能面臨高昂的成本、復雜的工藝以及低良率的問題。在部份情況下，經(jīng)圖案化的金屬氧化物薄膜也可能有容易被觀察到的問題。因此，現(xiàn)今發(fā)展出了多種透明導體，例如利用納米線等材料所制作的透明導體。

然而利用納米線制作觸控電極，納米線與周邊區(qū)的金屬引線在工藝上及結構上都有許多待解決的問題，例如傳統(tǒng)工藝將納米線涂布在顯示區(qū)及周邊區(qū)，并覆蓋周邊區(qū)的金屬引線，之后利用蝕刻液將納米線進行圖案化，以在顯示區(qū)制作出觸控感應電極，并且蝕刻納米線以在金屬引線上裸露出焊接墊，以與外部電路板進行連接。上述工藝所采用的蝕刻液大多為強酸性，故會導致金屬引線受到蝕刻液的作用，使產品可靠度下降；另外，蝕刻液的殘留問題也需要額外的清潔過程方能克服。

再一方面，利用納米線制作觸控感應電極的工藝中，通常會需要在納米在線成形外涂層(overcoat)，以保護納米線并將納米線固著于基板上，而上述工藝所采用的蝕刻液僅能移除納米線，故進行蝕刻工藝后，外涂層會殘留下來，殘留的外涂層的厚度會在接觸阻抗與電極保護性之間形成兩難沖突(trade off)。具體而言，若考慮電極的保護性，殘留的外涂層的厚度會盡可能的加厚，但在經(jīng)過蝕刻后，焊接墊上殘留外涂層的厚度過厚(例如大于20nm)，將造成焊接墊與外部電路板之間的接觸阻抗過大，進而導致線路在傳遞信號時產生耗損或失真，也就是說，過厚的殘留外涂層夾設在焊接墊與外部電路板之間，會造成產品在電性表現(xiàn)的問題。反之，若考慮接觸阻抗，殘留的外涂層的厚度會盡可能的減薄，但在經(jīng)過蝕刻后，形成觸控感應電極的納米在線所殘留外涂層的厚度太薄，將無法提供納米線有效的保護，也就是說，過薄的殘留外涂層會造成產品的耐用性不足的問題。

因此在利用納米線制作觸控感應電極的工藝上、電極結構上必須依照材料特性重新設計，使產品達到較佳的表現(xiàn)。

發(fā)明內容

本發(fā)明的部分實施方式，可提高顯示區(qū)的觸控感應電極的耐用性，并藉由接合墊與外部電路板的電極墊之間的直接接觸結構，同時形成一低阻抗的導電線路。此外，本發(fā)明的部分實施方式中，提出了觸控電極的直接圖案化方法，因而產生不同于以往的觸控面板結構。

本發(fā)明的部分實施方式提出一種觸控面板的直接圖案化方法，包括：提供一基板，該基板具有一顯示區(qū)與一周邊區(qū)，其中一周邊線路設置在該周邊區(qū)，該周邊線路具有一接合墊；設置由金屬納米線所組成的一金屬納米線層于該顯示區(qū)與該周邊區(qū)；設置一半固化的膜層于該金屬納米線層上；設置一負型感光層于該半固化的膜層上；進行一黃光微影步驟，包括：將該負型感光層進行曝光以定義出一去除區(qū)與一保留區(qū)；以及使用顯影液將位于該去除區(qū)的該負型感光層、該膜層與該金屬納米線層去除，以制作出設置于該顯示區(qū)上的一觸控感應電極并裸露出設置于該周邊區(qū)的該接合墊，該觸控感應電極電性連接于該周邊線路，其中該觸控感應電極是由該膜層與該金屬納米線層所組成；其中在該保留區(qū)中，該負型感光層覆蓋于該膜層與該金屬納米線層之上；以及將該膜層進行一固化步驟。