[發明專利]用于曝光機的板件的保持裝置

有效

• 申請號: 201810170069.7
• 申請日: 2018-03-01
• 公開（公告）號: CN110221523B
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發明（設計）人: 曹韋翎;許建郎
• 申請（專利權）人: 奧特斯科技(重慶)有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H05K3/00
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 王暉;李丙林

本發明涉及用于曝光機的板件的保持裝置，并且特別涉及用于保持形成部件承載件(110)的層堆疊體的裝置(100)。該裝置包括真空板(101)和用于將芯層(111)夾持到真空板(101)的夾持裝置(104)。在真空板(101)與芯層(111)之間可布置至少一個加強層(112)。真空板(101)包括支撐部分(102)和固定部分(103)，芯層(111)可布置在該支撐部分上，該固定部分用于通過夾持裝置(104)將真空板(101)固定到保持框架。該裝置還包括布置在夾持裝置(104)和真空板(101)的固定部分(103)之間的密封元件(105)，其中，該密封元件(105)與真空板(101)的支撐部分(102)間隔開，使得在密封元件(105)和支撐部分(102)之間形成溝槽(106)。

技術領域

本發明涉及一種用于曝光機的板件的保持裝置，特別地涉及一種用于保持形成部件承載件的層堆疊體的裝置、一種部件承載件以及通過該保持裝置制造部件承載件的方法。

背景技術

在配備有一個或多個電子部件的部件承載件的產品功能不斷增多和這樣的電子部件日益微型化以及待安裝在部件承載件諸如印刷電路板上的電子部件的數量不斷增加的背景下，日益采用具有若干電子部件的更強大的陣列狀部件或封裝件，這些部件或封裝件具有多個觸點或連接件，在這些觸點之間的間隔不斷減小。移除由這樣的電子部件和部件承載件本身在運行期間產生的熱成為日益凸顯的問題。同時，部件承載件應該是機械牢固的且電氣可靠的，以使得甚至在惡劣的條件下也能夠運行。

部件承載件由彼此附接的多個層堆疊體組成。為了部件承載件的制造過程，必須處理用于將所有層附接在一起的層壓過程。在制造過程期間，層必須緊緊地固定在彼此上。為此，將層固定在保持裝置內，該保持裝置例如通過真空力來保持層。然而，在用常規保持裝置處理層堆疊體期間，在層之間可能出現氣泡，該氣泡會導致層的分離。

發明內容

本發明的目的是提供用于將板件(部件承載件)類型的層保持在一起而在層之間不會有出現氣泡的風險的保持設備。

該目的可以通過本發明的以下方面來解決。

根據本發明的第一方面，提出用于保持形成部件承載件的層堆疊體的裝置。該裝置包括真空板和用于將芯層夾持到真空板的夾持裝置，其中，在真空板和芯層之間可布置至少一個加強(build up)層。真空板包括支撐部分和固定部分，芯層可布置在支撐部分上，固定部分用于通過夾持裝置將真空板固定至保持框架。該裝置還包括布置在夾持裝置和真空板的固定部分之間的密封元件，其中，密封元件與真空板的支撐部分間隔開，使得在密封元件和支撐部分之間形成溝槽(trench)。

根據另一個示例性實施方式，提出一種包括層堆疊體結構的部件承載件，該層堆疊體結構包括芯層和至少一個加強層，其中，加強層是電絕緣層結構和導電層結構中的至少一種。

根據本發明的另一方面，描述了由上述描述的裝置制造所描述的部件承載件的方法。該方法包括以下步驟：

將芯層布置到真空板的支撐部分上，其中，在真空板和芯層之間可布置至少一個加強層，

將芯層通過夾持裝置夾持到真空板的固定部分，

在夾持裝置和真空板的固定部分之間布置密封元件，其中，密封元件與真空板的支撐部分間隔開，使得在密封元件和支撐部分之間形成溝槽，

通過使空氣抽吸穿過真空板來產生真空力，以用于將芯層和加強層保持到真空板，

對制造過程特別是層壓過程提供保持裝置，以用于形成基于芯層和加強層的部件承載件。