[發明專利]用于曝光機的板件的保持裝置

有效

• 申請號: 201810170069.7
• 申請日: 2018-03-01
• 公開（公告）號: CN110221523B
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發明（設計）人: 曹韋翎;許建郎
• 申請（專利權）人: 奧特斯科技(重慶)有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H05K3/00
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 王暉;李丙林

1.一種用于保持形成部件承載件的層堆疊體的裝置(100)，所述裝置(100)包括：

真空板(101)，

夾持裝置(104)，所述夾持裝置用于將芯層(111)夾持到所述真空板(101)，

其中，在所述真空板(101)與所述芯層(111)之間能布置至少一個加強層(112)，

其中，所述真空板(101)包括支撐部分(102)和固定部分(103)，所述芯層(111)能布置在所述支撐部分上，所述固定部分用于通過所述夾持裝置(104)將所述真空板(101)固定至保持框架，

密封元件(105)，所述密封元件布置在所述夾持裝置(104)和所述真空板(101)的所述固定部分(103)之間，

其中，所述密封元件(105)與所述真空板(101)的所述支撐部分(102)間隔開，使得在所述密封元件(105)和所述支撐部分(102)之間形成溝槽(106)，

其中，所述夾持裝置(104)至少部分地沿著所述真空板(101)的所述固定部分(103)延伸，并且保持所述真空板(101)的所述支撐部分(102)未被覆蓋。

2.根據權利要求1所述的裝置(100)，

其中，所述真空板(101)被形成為使得所述固定部分(103)能延伸超過加強結構的邊緣(107)，并且使得所述固定部分(103)和所述夾持裝置(104)之間的距離(x1)大于所述夾持裝置(104)和所述支撐部分(102)之間的距離(x2)，以便形成所述溝槽(106)。

3.根據權利要求1或2所述的裝置(100)，

其中，所述密封元件(105)被布置成使得所述密封元件(105)與所述夾持裝置(104)之間的距離(x3)是2mm至6mm，特別地是4mm。

4.根據權利要求1或2所述的裝置(100)，

其中，所述真空板(101)被構造成使得所述真空板(101)的所述支撐部分(102)與所述密封元件之間的距離(x4)是7mm至11mm，特別地是9mm。

5.根據權利要求1或2所述的裝置(100)，

其中，所述真空板(101)包括多個孔(109)，空氣能從所述真空板(101)的面向所述芯層(111)的一側抽吸穿過所述孔到達所述真空板(101)的相反側。

6.通過根據權利要求1至5中的一項所述的裝置(100)制造部件承載件(110)的方法，其中，所述部件承載件(110)包括層堆疊體結構，所述層堆疊體結構包括芯層(111)和至少一個加強層(112)，其中，所述加強層(112)是電絕緣層結構和導電層結構中的至少一種，所述方法包括：

將所述芯層(111)布置在真空板(101)的支撐部分(102)上，

其中，在所述真空板(101)和所述芯層(111)之間能布置至少一個加強層(112)，

通過夾持裝置(104)將所述芯層(111)夾持到所述真空板(103)的所述固定部分(103)，其中，所述夾持裝置(104)至少部分地沿著所述真空板(101)的所述固定部分(103)延伸，并且保持所述真空板(101)的所述支撐部分(102)未被覆蓋，

將密封元件(105)布置在所述夾持裝置(104)和所述真空板(101)的所述固定部分(103)之間，

其中，所述密封元件(105)與所述真空板(101)的所述支撐部分(102)間隔開，使得在所述密封元件(105)和所述支撐部分(102)之間形成溝槽(106)，

通過將空氣抽吸穿過所述真空板(101)來產生真空力，以用于將所述芯層(111)和所述加強層(112)保持到所述真空板(101)，

對制造過程特別是層壓過程提供所述保持裝置(100)，以用于形成基于所述芯層(111)和所述加強層(112)的所述部件承載件(110)。