[發(fā)明專利]半導(dǎo)體裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810154835.0 | 申請日： | 2018-02-23 |
| 公開（公告）號： | CN108447851B | 公開（公告）日： | 2019-08-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳建樺;林弘毅;謝盛祺 | 申請（專利權(quán)）人： | 日月光半導(dǎo)體制造股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/64 | 分類號： | H01L23/64;H01L23/522;H01F17/00;H01F27/40 |
| 代理公司： | 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287 | 代理人： | 蕭輔寬 |
| 地址： | 中國臺灣高雄市楠梓*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 絕緣層 金屬條 電容器元件 第一表面 平行 貫穿孔 半導(dǎo)體裝置 第二表面 互連結(jié)構(gòu) 底部電極 頂部電極 導(dǎo)電 封裝 鄰近 | ||
1.一種半導(dǎo)體裝置封裝，其包括：
載體；
第一絕緣層，其安置在所述載體上并且具有第一表面以及鄰近于所述載體且與所述第一表面相對的第二表面，所述第一絕緣層限定多個貫穿孔；
第二絕緣層，其安置在所述第一絕緣層的所述第一表面上且包含延伸進(jìn)入所述第一絕緣層的部分；
電容器元件，其安置在所述第一絕緣層中，所述電容器元件包含頂部電極和底部電極；
多個互連結(jié)構(gòu)，其安置在所述貫穿孔內(nèi)并且形成為導(dǎo)電通孔；
多個基本上平行的頂部側(cè)金屬條，其安置在所述第一絕緣層的所述第一表面上；以及
多個基本上平行的底部側(cè)金屬條，其安置在所述第一絕緣層的所述第二表面上，
其中所述導(dǎo)電通孔中的每一個將所述多個頂部側(cè)金屬條中的一個耦接到所述多個底部側(cè)金屬條中的一個，
其中所述多個底部側(cè)金屬條中的第一個電連接到所述電容器元件的所述頂部電極，并且所述多個底部側(cè)金屬條中的第二個電連接到所述電容器元件的所述底部電極，以及
其中所述多個互連結(jié)構(gòu)分別圍繞所述第二絕緣層延伸進(jìn)入所述第一絕緣層的所述部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置封裝，其中所述頂部側(cè)金屬條中的至少一個、所述互連結(jié)構(gòu)中的至少一個以及所述底部側(cè)金屬條中的至少一個充當(dāng)電感器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置封裝，其中所述互連結(jié)構(gòu)的厚度小于約10微米(μm)，并且所述頂部側(cè)金屬條中的至少一個以及所述底部側(cè)金屬條中的至少一個的厚度小于約10μm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置封裝，其進(jìn)一步包括安置在所述第一絕緣層與所述載體之間的第三絕緣層。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體裝置封裝，其中所述第一絕緣層包含第一絕緣材料，并且所述第三絕緣層包含不同于所述第一絕緣材料的第三絕緣材料。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置封裝，其中所述第一絕緣層包含第一絕緣材料且所述第二絕緣層包含不同于所述第一絕緣材料的第二絕緣材料。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置封裝，其中所述頂部側(cè)金屬條、所述互連結(jié)構(gòu)以及所述底部側(cè)金屬條中的每一個包括晶種層和鍍覆層。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體裝置封裝，其中所述晶種層的材料不同于所述鍍覆層的材料。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置封裝，其中所述載體包含玻璃載體并且所述玻璃載體的表面粗糙度小于約1μm。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置封裝，其中所述互連結(jié)構(gòu)充當(dāng)屏蔽元件。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置封裝，其中所述第一絕緣層由曝光型負(fù)性光刻膠形成。
12.一種半導(dǎo)體裝置封裝，其包括：
載體；
第一絕緣層，其安置在所述載體上并且具有第一表面以及鄰近于所述載體且與所述第一表面相對的第二表面，所述第一絕緣層限定多個貫穿孔，所述貫穿孔中的每一個具有第一側(cè)壁，并且所述第一絕緣層限定具有第二側(cè)壁的腔室；
第二絕緣層，其安置在所述第一絕緣層與所述載體之間；
電容器元件，其在所述第二絕緣層中，所述電容器元件包含頂部電極和底部電極；
裸片，其安置于所述第一絕緣層的所述腔室中；以及
導(dǎo)電層，其包含相應(yīng)地安置在所述第一側(cè)壁以及所述第二側(cè)壁上的多個互連結(jié)構(gòu)且包含多個頂部連續(xù)部分以及多個底部連續(xù)部分，
其中所述導(dǎo)電層的所述互連結(jié)構(gòu)、所述頂部連續(xù)部分以及所述底部連續(xù)部分形成電感器元件，并且
其中所述導(dǎo)電層的所述底部連續(xù)部分中的第一個電連接到所述電容器元件的所述頂部電極，且所述導(dǎo)電層的所述底部連續(xù)部分的第二個電連接到所述電容器元件的所述底部電極。
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