[發(fā)明專利]一種超導(dǎo)相變溫度傳感器及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810151308.4
• 申請(qǐng)日: 2018-02-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108362726B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 甘海勇;徐楠;赫英威;馮國(guó)進(jìn);吳厚平;林延?xùn)|
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院
• 主分類號(hào): G01N25/12
• 分類號(hào): G01N25/12
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;吳歡燕

1.一種超導(dǎo)相變溫度傳感器，其特征在于，包括：依次鍍?cè)诨迳系牡谝粚颖∧ず偷诙颖∧ぃ凰龅谝粚颖∧槌瑢?dǎo)材料，所述第二層薄膜的材料為非超導(dǎo)材料或者為與所述第一層薄膜不同的超導(dǎo)材料；所述第二層薄膜的寬度與所述第一層薄膜的寬度的比值沿所述第一層薄膜的長(zhǎng)度方向逐漸變化；所述第一層薄膜的厚度與所述第二層薄膜的厚度之和為0.2-200nm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超導(dǎo)相變溫度傳感器，其特征在于，所述第一層薄膜的厚度為0.1-199.9nm，所述第二層薄膜的厚度為0.1-199.9nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超導(dǎo)相變溫度傳感器，其特征在于， 所述第一層薄膜的寬度為10-1000000nm，所述第二層薄膜的最大寬度為10-1000000nm、所述第二層薄膜的最小寬度為0-999999nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超導(dǎo)相變溫度傳感器，其特征在于， 所述第一層薄膜的長(zhǎng)度和所述第二層薄膜的長(zhǎng)度均為0.01-100mm；所述第一層薄膜與所述第二層薄膜采用蜿蜒形式或螺旋形式布置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的超導(dǎo)相變溫度傳感器，其特征在于，所述第一層薄膜的寬度和所述第二層薄膜的寬度均為50-200nm；所述第一層薄膜的長(zhǎng)度和所述第二層薄膜的長(zhǎng)度均為0.1-10mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的超導(dǎo)相變溫度傳感器，其特征在于， 所述第二層薄膜的寬度與所述第一層薄膜的寬度之比沿所述第一層薄膜的長(zhǎng)度的方向從1逐漸變小至0。

7.一種超導(dǎo)相變溫度傳感系統(tǒng)，其特征在于，包括：多個(gè)如權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的超導(dǎo)相變溫度傳感器，且沿所述超導(dǎo)相變溫度傳感器的長(zhǎng)度方向設(shè)置兩個(gè)電極，所述電極分別與所述超導(dǎo)相變溫度傳感器的兩端相連；以及相鄰超導(dǎo)相變溫度傳感器的端部的電極首尾相連。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的超導(dǎo)相變溫度傳感系統(tǒng)，其特征在于，所述超導(dǎo)相變溫度傳感器具有不同的工作范圍，以擴(kuò)大所述超導(dǎo)相變溫度傳感系統(tǒng)的工作范圍。

9.一種超導(dǎo)相變溫度傳感器制備方法，其特征在于，包括：

在基底上依次鍍第一層薄膜和第二層薄膜，且所述第一層薄膜為超導(dǎo)薄膜，所述第二層薄膜的材料為非超導(dǎo)材料或者為與所述第一層薄膜不同的超導(dǎo)材料，所述第二層薄膜的寬度與所述第一層薄膜的寬度的比值沿所述第一層薄膜的長(zhǎng)度方向逐漸變化；

將所述第一層薄膜的厚度與所述第二層薄膜的厚度之和調(diào)節(jié)為0.2-200nm，以使超導(dǎo)溫度傳感器的工作范圍為第一溫度至第二溫度；

其中，所述第二層薄膜的寬度與所述第一層薄膜的寬度的比值的最大處對(duì)應(yīng)的超導(dǎo)相變溫度為第一溫度，所述第二層薄膜的寬度與所述第一層薄膜的寬度的比值的最小處對(duì)應(yīng)的超導(dǎo)相變溫度為第二溫度。