[發明專利]一種旋轉氣路機構

有效

• 申請號: 201810145682.3
• 申請日: 2018-02-12
• 公開（公告）號: CN110159858B
• 公開（公告）日: 2021-06-29
• 發明（設計）人: 王剛;付紅艷;黃棟梁;宋海軍
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: F16L39/06
• 分類號: F16L39/06
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種旋轉氣路機構，包括進氣口(41)和出氣口(31)，其特征在于，還包括：

固定座(1)和相對所述固定座(1)旋轉的旋轉件(2)；

氣路固定部(4)，與所述固定座(1)固定連接，所述氣路固定部(4)設置有至少一個所述進氣口(41)；

氣路旋轉部(3)，與所述旋轉件(2)固定連接，所述氣路旋轉部(3)上開設有至少一個所述出氣口(31)；

所述進氣口(41)和所述出氣口(31)通過氣道連通；

所述氣路旋轉部(3)上連接有安裝件(5)，所述安裝件(5)具有吸附面，所述安裝件(5)上開設有至少一個連通于所述出氣口(31)且貫通所述吸附面的出氣孔(51)；

所述氣路固定部(4)套設在所述氣路旋轉部(3)的外部，所述旋轉件(2)套設在所述固定座(1)內部，所述安裝件(5)與所述氣路旋轉部(3)的上端面連接，所述氣路旋轉部(3)的下端與所述旋轉件(2)的上端連接，所述安裝件(5)的上端面形成所述吸附面，所述氣路固定部(4)、所述固定座(1)及所述旋轉件(2)均位于所述安裝件(5)的下方，所述氣路旋轉部(3)和所述氣路固定部(4)轉動密封。

2.根據權利要求1所述的旋轉氣路機構，其特征在于，還包括驅動傳動組件(7)，所述驅動傳動組件(7)包括電機(71)和連接于所述電機(71)輸出軸的主動齒輪(72)；

所述旋轉件(2)為與所述主動齒輪(72)嚙合的從動齒輪，所述氣路旋轉部(3)固定連接于所述從動齒輪的端面。

3.根據權利要求1所述的旋轉氣路機構，其特征在于，所述氣路固定部(4)和所述固定座(1)均為帶有容納腔的筒狀結構，所述氣路固定部(4)的內側壁上設置所述進氣口(41)，與所述進氣口(41)連接的氣管接口及氣管位于所述容納腔內。

4.根據權利要求1所述的旋轉氣路機構，其特征在于，所述氣道包括依次連通的進氣通道(42)、環形氣道(33)和出氣通道，所述進氣通道(42)連通所述進氣口(41)；

所述進氣通道(42)沿所述氣路固定部(4)的徑向方向設置，所述環形氣道(33)沿所述氣路旋轉部(3)或所述氣路固定部(4)的周向方向設置，所述出氣通道沿所述氣路旋轉部(3)的軸向方向設置。

5.根據權利要求1所述的旋轉氣路機構，其特征在于，所述氣路固定部(4)沿其軸線方向間隔設置有多層進氣層，每層所述進氣層設置有至少一個所述進氣口(41)，相鄰兩層進氣層的所述進氣口(41)錯位設置。

6.根據權利要求1所述的旋轉氣路機構，其特征在于，所述安裝件(5)沿其旋轉軸的徑向開設有至少一個導氣孔(52)，所述安裝件(5)的上端面對應于所述導氣孔(52)的位置間隔開設有多個所述出氣孔(51)，所述導氣孔(52)分別與所述出氣口(31)和對應的所述出氣孔(51)連通。

7.根據權利要求4所述的旋轉氣路機構，其特征在于，所述氣路旋轉部(3)與所述氣路固定部(4)采用彈簧蓄能密封圈(10)轉動密封，每個所述環形氣道(33)沿其軸線方向的兩側均設置有至少一個所述彈簧蓄能密封圈(10)。

8.根據權利要求1所述的旋轉氣路機構，其特征在于，所述氣路旋轉部(3)與所述氣路固定部(4)之間采用磁流體密封。