[發(fā)明專利]偏振定標(biāo)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810132398.2
• 申請(qǐng)日: 2018-02-09
• 公開（公告）號(hào): CN108534901B
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王建立;王文攀;張振鐸;趙金宇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號(hào): G01J4/00
• 分類號(hào): G01J4/00;G01B11/27
• 代理公司: 深圳市科進(jìn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44316
• 代理人: 趙勍毅

1.一種偏振定標(biāo)裝置，其特征在于：包括固定底板以及安設(shè)于所述固定底板上的拼接轉(zhuǎn)盤，于所述拼接轉(zhuǎn)盤上拼接有若干偏振片，所述拼接轉(zhuǎn)盤在電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下相對(duì)所述固定底板旋轉(zhuǎn)，所述拼接轉(zhuǎn)盤的旋轉(zhuǎn)軸線垂直于所述拼接轉(zhuǎn)盤，且各所述偏振片呈若干偏振圈分布，每一所述偏振圈上均分布有若干所述偏振片，且各所述偏振圈的中心均位于所述拼接轉(zhuǎn)盤的旋轉(zhuǎn)軸線上；

各所述偏振片均具有通光狹縫，各所述偏振片的通光狹縫均平行于所述拼接轉(zhuǎn)盤的Y軸方向，所述Y軸方向?yàn)榇怪庇谒矫娣较颉?/p>

2.如權(quán)利要求1所述的偏振定標(biāo)裝置，其特征在于：其中一所述偏振片位于所述拼接轉(zhuǎn)盤的旋轉(zhuǎn)軸線上。

3.如權(quán)利要求1所述的偏振定標(biāo)裝置，其特征在于：還包括用于檢測(cè)所述拼接轉(zhuǎn)盤的轉(zhuǎn)動(dòng)角度的多圈電位計(jì)。

4.如權(quán)利要求3所述的偏振定標(biāo)裝置，其特征在于：所述多圈電位計(jì)連接有電位計(jì)齒輪，所述電位計(jì)齒輪與所述拼接轉(zhuǎn)盤嚙合連接，所述電機(jī)通過主動(dòng)齒輪與所述拼接轉(zhuǎn)盤連接，所述主動(dòng)齒輪與所述電位計(jì)齒輪位于所述拼接轉(zhuǎn)盤的同一直徑上。

5.如權(quán)利要求4所述的偏振定標(biāo)裝置，其特征在于：所述電位計(jì)齒輪的齒數(shù)與模數(shù)均與所述主動(dòng)齒輪的齒數(shù)與模數(shù)相同。

6.如權(quán)利要求4所述的偏振定標(biāo)裝置，其特征在于：還包括前蓋板、側(cè)蓋板以及后支撐座，且所述前蓋板、所述側(cè)蓋板、所述后支撐座以及所述固定底板圍合形成環(huán)形腔室，所述拼接轉(zhuǎn)盤至少部分位于所述環(huán)形腔室內(nèi)。

7.如權(quán)利要求6所述的偏振定標(biāo)裝置，其特征在于：所述拼接轉(zhuǎn)盤外露于所述環(huán)形腔室的部分設(shè)置有0°—360°的刻度，且最小間隔為1°。

8.如權(quán)利要求6所述的偏振定標(biāo)裝置，其特征在于：所述拼接轉(zhuǎn)盤與所述環(huán)形腔室的內(nèi)壁之間通過軸承連接。

9.如權(quán)利要求8所述的偏振定標(biāo)裝置，其特征在于：所述拼接轉(zhuǎn)盤的邊沿處具有凸起，所述凸起位于所述環(huán)形腔室內(nèi)，且所述軸承位于所述凸起與所述環(huán)形腔室的內(nèi)壁之間。