[發(fā)明專利]一種投影物鏡和光刻曝光系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810113896.2
• 申請日: 2018-02-05
• 公開（公告）號: CN110119070B
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 侯寶路
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: G02B13/00
• 分類號: G02B13/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發(fā)明公開了一種投影物鏡和光刻曝光系統(tǒng)。該投影物鏡包括沿光路依次設(shè)置的第一透鏡組、第二透鏡組和第三透鏡組，第一透鏡組包括沿光路依次設(shè)置的第一子透鏡組和第二子透鏡組，第三透鏡組包括沿光路依次設(shè)置的第三子透鏡組和第四子透鏡組，投影物鏡滿足以下關(guān)系式：0.3F2/F10.8；0.1F2/F30.4；0.2F1/F30.6；0.1|f1/f2|0.4；?0.5f3/f4?0.2。本發(fā)明實施例提供的投影物鏡和光刻曝光系統(tǒng)，可以解決投影物鏡的投影視場較小，同時不能兼容汞燈光源和LED光源的問題，實現(xiàn)較好像質(zhì)的寬光譜和大視場的物鏡投影，增加曝光系統(tǒng)的曝光視場，提高光刻機的光刻產(chǎn)率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明實施例涉及半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域，尤其涉及一種投影物鏡和光刻曝光系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域的高速發(fā)展，對制造集成電路芯片的光刻曝光系統(tǒng)的分辨率和產(chǎn)率提出了越來越高的要求，產(chǎn)率的提高與曝光視場的大小直接相關(guān)，所以增大曝光視場是顯著提高產(chǎn)率的最有效途徑。

目前的光刻曝光系統(tǒng)中采用的投影物鏡的曝光視場通常較小，集成電路芯片的產(chǎn)率不能滿足日益增長的生產(chǎn)量的要求。而且，現(xiàn)有技術(shù)中的投影物鏡對于不同波長的光不能很好地校正色差和單色像差，導(dǎo)致其所適用的曝光波長通常不能覆蓋ghi三線波長，不能兼容發(fā)光二極管(Light Emitting Diode，LED)光源和汞燈光源，使得曝光系統(tǒng)的曝光光譜較窄。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種投影物鏡和光刻曝光系統(tǒng)，以實現(xiàn)寬光譜大視場投影，增加光刻曝光系統(tǒng)的產(chǎn)率。

第一方面，本發(fā)明實施例提供了一種投影物鏡，包括沿光路依次設(shè)置的第一透鏡組、第二透鏡組和第三透鏡組，所述第一透鏡組包括沿光路依次設(shè)置的第一子透鏡組和第二子透鏡組，所述第三透鏡組包括沿光路依次設(shè)置的第三子透鏡組和第四子透鏡組，所述投影物鏡滿足以下關(guān)系式：

0.3F2/F10.8；

0.1F2/F30.4；

0.2F1/F30.6；

0.1|f1/f2|0.4；

-0.5f3/f4-0.2；

其中，所述第一透鏡組、所述第二透鏡組和所述第三透鏡組的焦距分別為F1、F2和F3，所述第一子透鏡組和所述第二子透鏡組的焦距分別為f1和f2，所述第三子透鏡組和所述第四子透鏡組的焦距分別為f3和f4。

第二方面，本發(fā)明實施例還提供了一種光刻曝光系統(tǒng)，包括如第一方面任一所述的投影物鏡，還包括光源模塊，第一工作臺以及第二工作臺；

所述光源模塊用于出射曝光光信號；所述第一工作臺位于所述光源模塊出射所述曝光光信號一側(cè)，用于放置掩模板；所述投影物鏡位于所述第一工作臺遠離所述光源模塊一側(cè)，用于聚焦曝光光信號至像面；所述第二工作臺位于所述投影物鏡遠離所述第一工作臺一側(cè)，用于放置曝光基片。

本發(fā)明實施例提供的投影物鏡和光刻曝光系統(tǒng)，通過沿光路依次設(shè)置第一透鏡組、第二透鏡組和第三透鏡組，其中，第一透鏡組包括沿光路依次設(shè)置的第一子透鏡組和第二子透鏡組，第三透鏡組包括沿光路依次設(shè)置的第三子透鏡組和第四子透鏡組，并通過各透鏡組和子透鏡組的焦距的配合，可以解決投影物鏡的投影視場較小，同時不能兼容汞燈光源和LED光源的問題，實現(xiàn)較好像質(zhì)的寬光譜和大視場的物鏡投影，增加曝光系統(tǒng)的曝光視場，提高光刻機的光刻產(chǎn)率。

附圖說明

圖1是本發(fā)明實施例一提供的一種投影物鏡的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明實施例一提供的第二透鏡組的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明實施例提供的另一種投影物鏡的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明實施例二提供的一種投影物鏡的結(jié)構(gòu)示意圖；