[發(fā)明專利]光刻裝置及物品的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810107544.6
• 申請日: 2018-02-02
• 公開（公告）號: CN108398857B
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 中島和敬;神谷重雄
• 申請（專利權(quán)）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京怡豐知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11293
• 代理人: 遲軍;李艷麗

本發(fā)明提供一種光刻裝置及物品的制造方法，所述光刻裝置在基板上形成圖案，其特征在于，所述光刻裝置包括：卡盤，其包括用于保持所述基板的第一保持面、以及與所述第一保持面相反一側(cè)的背面；載臺，其包括用于保持所述卡盤的第二保持面，并能夠移動；板，其包括第一清潔面、以及與所述第一清潔面相反一側(cè)的第二清潔面；保持部，其以垂直方向的保持力小于水平方向的保持力的方式來保持所述板或所述卡盤，并能夠移動；以及處理部，其通過所述保持部所保持的所述板的所述第二清潔面對所述第一保持面和所述第二保持面中的至少一者進(jìn)行清潔，并通過所述板的所述第一清潔面對所述保持部所保持的所述卡盤的所述背面進(jìn)行清潔。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種光刻裝置及物品的制造方法。

背景技術(shù)

為了提高半導(dǎo)體器件或液晶顯示元件等器件的生產(chǎn)率，對在這些器件的制造中使用的曝光裝置等光刻裝置要求高吞吐量。于是，促進(jìn)了光刻裝置中使用的基板載臺的高加速度化。為了實現(xiàn)基板載臺的高加速度化，除基板載臺的輕量化之外，將在基板載臺上用于保持基板的卡盤輕量化(薄型化)也是有效的。另一方面，近年來，為了提高器件的生產(chǎn)率，基板的大型化也不斷發(fā)展，與之相伴，卡盤的大型化也不斷發(fā)展。

此外，在光刻裝置中，為了應(yīng)對器件的高集成化以及微小化，高NA(numericalaperture，數(shù)值孔徑)化不斷發(fā)展。但是，通過高NA化，雖然提高了解析度，但是降低了有效的焦深，因此在光刻裝置中，要求以高的平面度來保持基板。

如果促進(jìn)卡盤的薄型化，則卡盤的剛性降低，因此與卡盤的基板保持面(正面)相反一側(cè)的面(背面)與用于保持卡盤的基板載臺之間的異物對基板的平面度的影響變大。此外，由于卡盤的大型化，卡盤的背面與基板載臺相接觸的面積變大，附著異物的可能性變高，因此要求超出以往的用于抑制異物的附著的技術(shù)。例如，在日本專利第4086651號公報中，公開了如下技術(shù)：在卡盤與用于保持卡盤的基板載臺相接觸的狀態(tài)下，通過使卡盤與基板載臺相對移動，來去除(清潔)卡盤的背面與基板載臺之間所附著的異物。

然而，在現(xiàn)有技術(shù)中，一邊相對地按壓卡盤與基板載臺一邊使卡盤與基板載臺移動，導(dǎo)致卡盤或基板載臺顯著磨損。這樣的磨損不僅會引起保持基板時的平面度的下降，還成為異物產(chǎn)生的重要因素。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種有利于在抑制卡盤和/或載臺的磨損的同時，以高平面度保持基板的光刻裝置。

根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供一種在基板上形成圖案的光刻裝置，所述光刻裝置的特征在于包括：卡盤，其包括用于保持所述基板的第一保持面、以及與所述第一保持面相反一側(cè)的背面；載臺，其包括用于保持所述卡盤的第二保持面，并能夠移動；板，其包括第一清潔面、以及與所述第一清潔面相反一側(cè)的第二清潔面；保持部，其以垂直方向的保持力小于水平方向的保持力的方式來保持所述板或所述卡盤，并能夠移動；以及處理部，其通過所述保持部所保持的所述板的所述第二清潔面對所述第一保持面和所述第二保持面中的至少一者進(jìn)行清潔，并通過所述板的所述第一清潔面對所述保持部所保持的所述卡盤的所述背面進(jìn)行清潔。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種物品的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括：使用光刻裝置在基板上形成圖案的步驟；對通過所述步驟形成有所述圖案的所述基板進(jìn)行處理的步驟；以及由處理后的所述基板制造物品的步驟，其中，所述光刻裝置包括：卡盤，其包括用于保持所述基板的第一保持面、以及與所述第一保持面相反一側(cè)的背面；載臺，其包括用于保持所述卡盤的第二保持面，并能夠移動；板，其包括第一清潔面、以及與所述第一清潔面相反一側(cè)的第二清潔面；保持部，其以垂直方向的保持力小于水平方向的保持力的方式來保持所述板或所述卡盤，并能夠移動；以及處理部，其通過所述保持部所保持的所述板的所述第二清潔面對所述第一保持面和所述第二保持面中的至少一者進(jìn)行清潔，并通過所述板的所述第一清潔面對所述保持部所保持的所述卡盤的所述背面進(jìn)行清潔。

通過以下參照附圖對優(yōu)選實施方式的描述，本發(fā)明的其他目的或其他方面將變得清楚。

附圖說明