[發(fā)明專利]基于角錐棱鏡的光學(xué)鏡頭多視場像質(zhì)檢測裝置及方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810097080.5 | 申請日: | 2018-01-31 |
| 公開(公告)號: | CN108225744B | 公開(公告)日: | 2023-09-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 龐志海;樊學(xué)武;鄒剛毅;馬臻 | 申請(專利權(quán))人: | 中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所 |
| 主分類號: | G01M11/02 | 分類號: | G01M11/02 |
| 代理公司: | 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司 61211 | 代理人: | 唐沛 |
| 地址: | 710119 陜西省西*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 基于 棱鏡 光學(xué) 鏡頭 視場 質(zhì)檢 裝置 方法 | ||
1.一種基于角錐棱鏡的光學(xué)鏡頭多視場像質(zhì)檢測裝置,其特征在于:包括角錐棱鏡和干涉儀,
所述角錐棱鏡包括三個錐面和一個底面,其中,三個錐面相互垂直,底面是一個等腰三角形;
角錐棱鏡位于待測光學(xué)鏡頭的入瞳處且角錐棱鏡的底面正對待測光學(xué)鏡頭,干涉儀出射匯聚光束焦點(diǎn)位于待測光學(xué)鏡頭焦平面上;
以任意角度進(jìn)入角錐棱鏡的入射光束均從其底面入射,經(jīng)過三個錐面依次反射后仍由底面出射,且出射光束始終平行于入射光束。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于角錐棱鏡的光學(xué)鏡頭多視場像質(zhì)檢測裝置,其特征在于:所述干涉儀為多個且多個干涉儀的出射匯聚光束焦點(diǎn)均位于待測光學(xué)鏡頭焦平面上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于角錐棱鏡的光學(xué)鏡頭多視場像質(zhì)檢測裝置,其特征在于:還包括一個安裝在干涉儀下方的二維移動平臺,二維移動平臺帶動干涉儀在待測光學(xué)鏡頭焦平面上移動。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的基于角錐棱鏡的光學(xué)鏡頭多視場像質(zhì)檢測裝置,其特征在于:所述角錐棱鏡是通過在一個立方體鏡體上切下一角而形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于角錐棱鏡的光學(xué)鏡頭多視場像質(zhì)檢測裝置,其特征在于:所述干涉儀為所商業(yè)化的干涉儀。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于角錐棱鏡的光學(xué)鏡頭多視場像質(zhì)檢測裝置的檢測方法,其特征在于,包括以下步驟:
1)裝配:
將角錐棱鏡安裝于待測光學(xué)鏡頭入瞳處,同時安裝干涉儀,保證干涉儀光束焦點(diǎn)位于待測光學(xué)鏡頭焦平面上;
2)一個視場角像差系數(shù)的檢測:
干涉儀發(fā)出匯聚光束通過待測光學(xué)鏡頭后變?yōu)槠叫泄馐鴱慕清F棱鏡的底面入射到角錐棱鏡,平行光束依次通過角錐棱鏡的三個錐面反射后按原路自準(zhǔn)返回到干涉儀,通過干涉儀軟件獲得待測光學(xué)鏡頭該視場像差系數(shù);
3)多個視場角像差系數(shù)的檢測:
保持待測光學(xué)鏡頭及角錐棱鏡位置不動,將干涉儀焦點(diǎn)置于待測光學(xué)鏡頭焦面上不同位置,干涉儀光束通過待測光學(xué)鏡頭后變?yōu)榻嵌炔煌钠叫泄馐肷涞浇清F棱鏡,角錐棱鏡將不同角度平行光束分別自準(zhǔn)返回到干涉儀,即可獲得不同視場角的像差系數(shù)。
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