[發明專利]除泡裝置及除泡方法在審
| 申請號: | 201810080269.3 | 申請日: | 2018-01-27 |
| 公開(公告)號: | CN108296134A | 公開(公告)日: | 2018-07-20 |
| 發明(設計)人: | 謝銳 | 申請(專利權)人: | 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司 |
| 主分類號: | B05C11/10 | 分類號: | B05C11/10 |
| 代理公司: | 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304 | 代理人: | 孫偉峰;陽志全 |
| 地址: | 430070 湖北省武漢市東湖新技術*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 傳輸通道 液體材料 破裂 出液通道 除泡裝置 進液通道 殘留 除泡 去除 加熱 真空吸附力 傳輸 加熱單元 加熱攪拌 氣泡清除 氣體膨脹 傾斜設置 液體傳輸 粘稠液體 再利用 粘稠度 制程 上游 | ||
1.一種除泡裝置,其特征在于,包括上游的進液通道(10)、下游的出液通道(20)、設于所述進液通道(10)與所述出液通道(20)之間以傳輸粘稠液體(L)的傳輸通道(30)以及用于對所述傳輸通道(30)加熱的第一加熱單元(40),所述傳輸通道(30)相對于水平面傾斜設置。
2.根據權利要求1所述的除泡裝置,其特征在于,還包括用于抽真空的第一抽氣裝置(M1),所述傳輸通道(30)設于真空腔體內并與所述第一抽氣裝置(M1)連通。
3.根據權利要求1所述的除泡裝置,其特征在于,所述第一抽氣裝置(M1)的抽氣管口設于所述傳輸通道(30)上方。
4.根據權利要求1-3任一所述的除泡裝置,其特征在于,還包括設于所述傳輸通道(30)下游并分別與所述傳輸通道(30)、所述出液通道(20)連通的沉降池(50),且所述沉降池(50)的底面低于所述傳輸通道(30)的下游端。
5.根據權利要求4所述的除泡裝置,其特征在于,所述第一加熱單元(40)還對所述沉降池(50)進行加熱。
6.根據權利要求5所述的除泡裝置,其特征在于,所述第一加熱單元(40)包括加熱源(41)和導熱層(42),所述導熱層(42)覆蓋于所述傳輸通道(30)和所述沉降池(50)外表面,所述加熱源(41)用于對所述導熱層(42)加熱。
7.根據權利要求4所述的除泡裝置,其特征在于,所述沉降池(50)設于真空腔體內,并連接有用于抽真空的抽氣裝置。
8.根據權利要求4所述的除泡裝置,其特征在于,還包括攪拌機構(60),所述攪拌機構(60)伸入所述沉降池(50)內,用于對所述沉降池(50)內的液體進行攪拌。
9.根據權利要求8所述的除泡裝置,其特征在于,還包括第二加熱單元(70),所述第二加熱單元(70)與所述攪拌機構(60)連接,以對所述攪拌機構(60)加熱。
10.一種除泡方法,其特征在于,使用權利要求1-9任一所述的除泡裝置,液體(L)自所述進液通道(10)注入后沿所述進液通道(10)流動,自所述出液通道(20)流出。
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